扫描探针显微镜轴向位移测量误差校准结果的不确定度评定

发布时间：2021-05-22 03:24

　　扫描探针显微镜主要应用于微电子技术、生物技术、信息技术和纳米技术等各种尖端科学领域,是纳米科技发展的共性关键技术,其位移测量精度是重要的计量参数,因而对其进行校准,保证其测量值准确可靠尤为重要。本文利用量值可溯源至中国计量科学研究院的二维纳米线间隔样板和纳米级台阶样板建立了扫描探针显微镜校准装置,实现对扫描探针显微镜X轴、Y轴、Z轴位移测量误差的校准,并对校准结果进行了不确定度评定。 

【文章来源】：计量与测试技术. 2020,47(11)

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
0前言
1 扫描探针显微镜轴向位移测量误差校准方法
    1.1 标准器
    1.2 X、Y轴位移测量误差
    1.3 Z轴位移测量误差
2 校准结果的不确定度评定
    2.1 测量模型
    2.2 不确定度传播率
    2.3 标准不确定度评定
        2.3.1 扫描探针显微镜的X、Y轴位移测量误差校准结果不确定度计算
        3.3.2 扫描探针显微镜的Z轴位移测量误差校准结果不确定度计算
4 结束语


【参考文献】：
期刊论文
[1]扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法（英文）[J]. 刘俭,谷康,李梦周,由小玉,刘辰光,王宇航,谭久彬.  计量学报. 2019(04)
[2]扫描探针显微技术及其应用[J]. 贺爽博.  电子世界. 2017(20)
[3]扫描探针显微镜的控制技术综述[J]. 彭超,徐红兵,张健.  控制理论与应用. 2011(03)
[4]扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用[J]. 游俊富,王虎,赵海山.  现代科学仪器. 2003(02)
[5]扫描探针显微镜系列及其应用综述[J]. 田文超,贾建援.  西安电子科技大学学报. 2003(01)



本文编号：3200884