平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究

发布时间：2021-12-28 13:35

　　大口径平面光学元件广泛的应用于航空航天、天文探索、高功率激光系统等重大国家工程中,因此,对于大平面光学平面元件面形检测的研究显得尤为必要和重要。常用干涉方法对平面面形进行检测,菲索干涉仪作为典型的平面面形干涉检测仪器,其检测精度很大程度上取决于光学参考平面的面形精度。光学平面口径增大致使其自身重力的增加,会使得参考平面发生重力变形,从而对待测平面元件检测结果产生很大的误差。所以大口径参考平面的高精度面形的标定成为检测过程中必不可少的一环,也是保证大口径光学系统检测水平提升的必然途径。本文在传统的三平面互检面形标定方法的基础上,采用Zemike多项式拟合的三平面互检面形标定方法,并结合相移干涉技术的理论分析和仿真,分析得到相移过程中干涉条纹处理的计算误差达到2mm。同时,针对300mm 口径的参考平面在不同的装夹支撑方式、参考面厚度、平面口径等参数条件下的自重变形,运用有限元分析方法进行分析仿真。所以选取T型六点支撑方式作为大口径参考平面的装夹支撑方式,该支撑方式下参考面的重力变形仿真达到20nm。随后,分析了参考面的变形对Zernike多项式拟合的三面互检面形标定结果的影响,得到变形后... 

【文章来源】：西安工业大学陕西省

【文章页数】：73 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

多点浮动支撑

底部环状支撑

侧面胶点支撑

【参考文献】：
期刊论文
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博士论文
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硕士论文
[1]平面标准镜的绝对标定技术研究[D]. 高飞.西安工业大学 2017
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[5]基于变频相移干涉的面形检测算法研究[D]. 刘剑.西安工业大学 2014
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[7]基于相移干涉的大平面测量关键技术研究[D]. 郑显锋.西安工业大学 2012
[8]高精度球面面形绝对检测方法研究[D]. 王东升.浙江大学 2011
[9]大口径望远镜主镜侧支撑结构优化[D]. 李成明.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2010
[10]波长移相干涉测量技术研究[D]. 郝晶晶.南京理工大学 2007



本文编号：3554150