基于有限元分析的光学透镜半柔性支撑结构

发布时间：2022-01-06 13:59

　　光学透镜的面形精度是影响干涉仪等光学系统性能的重要因素之一。其中光学透镜的自重是引起透镜的面形发生变化的主要原因。为了提高由光学透镜的面形精度,设计了一种具有辅助刚体的光学透镜半柔性支撑结构。通过Abaqus有限元分析软件,模拟出在半柔性支撑结构下光学透镜自重对其自身面形的影响。分析的最终结果表明:光学透镜的上表面与下表面的面形RMS值分别为3.51 nm和4.64 nm。由此可以得出,设计的具有辅助刚体的光学透镜半柔性支撑结构可以充分满足干涉仪等光学系统对光学透镜面形的精度要求。 

【文章来源】：软件. 2020,41(08)

【文章页数】：3 页

【部分图文】：

透镜的应力云图

柔性结构采用多弹片式结构，弹片模型可简化为悬臂梁结构进行设计分析；径向采用三点挠性间隙结构（三个弹片与外结构体采用焊接）来定心并防止发生较大水平方向位移，实际操作上主要水平微调还是靠后期进行。在不考虑柔性结构（多弹片支撑结构）与径向定位装置之间的装配夹紧力对柔性结构的变形情况下，对于支撑结构做了简化，配合简化的三点辅助刚体支撑结构组合成的半柔性支撑结构，如图2所示。

在不考虑柔性结构（多弹片支撑结构）与径向定位装置之间的装配夹紧力对柔性结构的变形情况下，对于支撑结构做了简化，配合简化的三点辅助刚体支撑结构组合成的半柔性支撑结构，如图2所示。1.1.1柔性结构，径向定位结构与辅助刚体材料选择

【参考文献】：
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本文编号：3572584