基于二元光学透镜光谱聚焦特性的微间距测量

发布时间：2022-08-07 22:57

　　针对传统色散透镜的色散线性度很难保证为绝对线性,测量范围很窄的问题,且为了尽量减小球差尤其是对测量影响最大的轴向球差,提出一种将二元光学透镜引入到光谱共聚焦微小间距测量的方法。该方法中二元光学透镜的色散只与入射光的波长有关,且严格与入射光的波长成反比。二元光学透镜不存在球差问题且可以补偿校正测量系统中其他光学组件的未知色差。实验中选择510～690nm范围内的光谱,利用分辨率为0.5nm的光谱仪接收光谱信息,测得该方法的测量量程为13.95mm,测量误差为0.6μm,并通过对光盘上的刻录间距进行测量,验证了该方法的有效性。 

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 引言
2 基本原理与测量装置
    2.1 二元光学透镜光谱聚焦微小间距测量理论分析
    2.2 微小间距测量原理与实验装置
3 仿真分析
4 实验分析
5 应用及前景分析
6 结论


【参考文献】：
期刊论文
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[2]基于远心镜头的激光三角测距系统研究与实现[J]. 朱铮涛,裴炜冬,李渊,萧达安.  激光与光电子学进展. 2018(03)
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[4]光谱共焦测量系统中的色散透镜组设计[J]. 金博石,邓文怡,牛春晖,李晓英.  光学技术. 2012(06)
[5]光谱共焦位移传感器测量透明材料厚度的应用[J]. 朱万彬,曹世豪.  光机电信息. 2011(09)
[6]光谱共焦位移传感器的色散物镜设计[J]. 刘乾,杨维川,袁道成,刘波.  光电工程. 2011(07)
[7]基于共焦法透镜中心厚度检测的光学系统设计[J]. 乔杨,张宁,刘涛,徐熙平.  光学技术. 2010(06)
[8]激光三角法测量中被测物表面特性对测量精度影响的分析[J]. 周坤,季海焦,刘海滨.  光学与光电技术. 2009(02)
[9]二元光学超光谱成像仪分光系统设计[J]. 于斌,李宏生,禹秉熙,韩昌元.  光学技术. 2003(01)

博士论文
[1]变栅距光栅位移传感器的若干问题研究[D]. 刘正坤.中国科学技术大学 2009
[2]利用二元光学透镜轴向色散的凝视光谱成像性能研究[D]. 于斌.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2003

硕士论文
[1]光谱共焦位移传感器设计技术研究[D]. 武芃樾.中国工程物理研究院 2012



本文编号：3671195