基于三次样条插值法的干涉仪反射镜面型值误差分析

发布时间：2023-10-22 10:18

　　根据激光干涉仪测量位移的原理,分析了工件台干涉仪系统的测量位移的原理,由于激光干涉仪反射镜因为加工制造有缺陷从而会产生测量误差,以及设计出了干涉仪反射镜面型误差计算方法。最后利用三次样条插值函数算法对模拟的运动台位置进行仿真分析,得到在±0.2m行程范围内,YMX面型值的最大误差在1.68×10-10m,XΦZ最大误差的值是1.06×10-6rad,这种方法可以为实际工程应用提供参考价值。

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【文章目录】：
0 引言
1 激光干涉仪测量位移原理概述
    1.1 激光干涉仪测量位移原理
    1.2 干涉仪测量位移系统
2 干涉仪反射镜面型校准
    2.1 面型校准的原因
    2.2 反射镜面型计算方法
    2.3 公式推导
3 仿真实验与分析
    3.1 三次样条插值算法
    3.2 模型仿真
4 结束语



本文编号：3856322