基于柔性机构的精密调平调心平台设计与分析

发布时间：2017-07-28 13:01

  本文关键词：基于柔性机构的精密调平调心平台设计与分析

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【摘要】：高精度调平调心工作台是精密测量设备上最重要的附件之一。文中基于柔性铰链实现了正交2维调平机构的一体化设计,将平行四边形柔性导向机构进行嵌套实现2维平动调心功能。分析了角度调节的具体操作过程,计算了偏转角度与驱动进给位移的关系,加工了调平调心平台样机。试验操作显示该平台具有结构简单、刚度大、无噪声、调节柔和、成本低等优点。
【作者单位】： 西安工业大学机电工程学院;
【关键词】： 柔性铰链 调平调心 精密测量
【基金】：陕西省科学技术研究发展计划资助项目(S2011GY1051) 陕西省自然科学基础研究计划资助项目(2013K07-19)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 具有高精度的调平调心平台在精密制造与测量、微电子、宇航、生物工程等领域发挥着越来越重要的作用,特别是在精密、超精密测量领域,人们对其所能实现的精度要求越来越高,往往达到微米,甚至纳米级别。目前精密调平调心平台在圆度仪、圆柱度仪、齿轮测量机、精密三坐标测量机等

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本文编号：584142