外差激光干涉仪非线性误差分析及测量

发布时间：2017-07-31 09:28

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【摘要】：对外差激光干涉仪中的非线性误差理论进行了综述,着重分析了一阶、二阶非线性误差的形成机理、非线性误差的大小及表现形式,并对非线性误差检测和补偿方法的研究进展进行了详细阐述和分析,指出了各类方法的应用特点,为开展这一方向的后续研究提供理论基础。
【作者单位】： 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室;
【关键词】： 测量 非线性误差 外差干涉 误差分析
【基金】：国家自然科学基金(51075280)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言外差激光干涉仪的结构简单,抗干扰能力强,检测方便,通过相位比较即可达到很高的测量分辨率,在纳米测量中有着独特的优势和广泛的应用。理论上,激光干涉仪工作时,激光源发出的两个具有一定频率差的正交线偏振光,经偏振分光镜分光后,两个偏振分量分别经测量臂和参考臂后各

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本文编号：598493