径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用

发布时间：2017-08-05 05:23

  本文关键词：径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用

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【摘要】：针对精密反射镜的重力变形,提出了一种基于径向预紧力的变形补偿方法。以高数值孔径(NA)投影光刻物镜中的反射镜为研究对象,建立了反射镜的受力模型,定性分析了径向预紧力对反射镜重力变形的影响规律。利用有限元分析方法得到了在不同径向预紧力作用下反射镜的面形变化,通过数据拟合分析了径向预紧力与面形误差及其泽尼克系数之间的关系。分析结果表明:径向预紧力主要影响反射镜面形的球差项和三叶像差项;随着径向预紧力的增大,补偿后的面形误差呈现先减小后增大的趋势,当径向预紧力约为25 N时,由于重力导致的面形误差由2.009 nm减小为0.462 nm,补偿结果最优。通过实验测量了重力和预紧力作用下反射镜的面形误差,当径向预紧力为25 N时重力导致的反射镜面形误差减小了0.988 nm,从而验证了分析过程和补偿方法的正确性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 光学器件 表面变形 面形补偿 预紧力 有限元方法
【基金】：国家重大科技专项(2012ZX02701001-007)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言减小光学元件面形误差是提高光机系统性能的重要途径。光机系统结构中的内应力是影响光学元件面形精度的关键因素,它的产生主要与装配应力和热应力(工作过程中由于温度变化导致的)有关。合理的结构设计和装配工艺设计是减小系统内应力的重要手段。为了减小装配应力和热应

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本文编号：623362