纳米表面相互作用及振动测头模型

发布时间：2017-08-05 07:08

  本文关键词：纳米表面相互作用及振动测头模型

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【摘要】：如何实现高精度的测量是现代制造业及微电子技术领域的热点问题之一.基于微纳米测头的三坐标测量机是当前实现高精度测量的重要手段.随着测量尺寸的减小,常用的纳米/微纳尺度的测头与待测表面之间形成静态接触,其表面相互作用成为了影响其测量精度和可靠性的关键因素之一.本文基于一种触发式振动测头,研究了其动力学模型,并通过对测头纳米尺度表面相互作用的理论分析及数值模拟,确立了测头振动参数与表面相互作用之间的关联.实验研究表明,参数优化后的谐振微纳测头能有效抑制表面作用带来的干扰,提高测量精度.
【作者单位】： 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;
【关键词】： 纳米表面作用力 简谐振动 接触式测量 三维振动测头
【基金】：国家自然科学基金(批准号:51275148;51205103)资助的课题~~
【分类号】：TH721
【正文快照】： 如何实现高精度的测量是现代制造业及微电子技术领域的热点问题之一. 基于微纳米测头的三坐标测量机是当前实现高精度测量的重要手段. 随着测量尺寸的减小, 常用的纳米/微纳尺度的测头与待测表面之间形成静态接触, 其表面相互作用成为了影响其测量精度和可靠性的关键因素之一.

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本文编号：623565