局部多孔质气浮导轨多目标优化研究

发布时间：2017-08-06 18:22

  本文关键词：局部多孔质气浮导轨多目标优化研究

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【摘要】：为了优化局部多孔质气浮导轨的设计参数,建立了包含多孔质流量特性的气浮导轨气膜压力特性数学模型,提出了一种基于非支配排序遗传算法(NSGA-II)的多孔质气浮导轨优化设计方法,实现了耗气量最小和气膜承载能力最大两个目标的参数优化计算。该方法能够获得目标空间内均匀分布的Pareto解集,克服了实际设计过程中单纯依靠经验的缺陷。选取4组Pareto最优解,通过改变参数分析了各参数对气浮导轨性能的影响程度。结果表明,多孔质排布位置对气膜承载能力的影响最为显著。
【作者单位】： 江苏科技大学机械工程学院;无锡气动技术研究所有限公司;浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室;宁波市博研气动技术研究所;
【关键词】： 多孔质 气浮导轨 气膜 优化
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51205174) 宁波市自然科学基金资助项目(2013A610049)
【分类号】：TH703.4
【正文快照】： 引言随着半导体相关产业的发展,半导体晶圆及液晶玻璃基板(TFT-LCD)等产品呈现大型化、薄型化发展趋势,其输运过程中需要采用无摩擦非接触的方式以确保表面无划伤。基于气浮方式构建的输运系统凭借其清洁无污染,不发热,不生磁等优点,成为当前非接触式输运领域的主流[1]。采用

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前2条

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2 路波;陶国良;刘昊;向忠;;气悬浮无摩擦气缸的结构多目标优化设计[J];中国机械工程;2008年14期

【共引文献】

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2 孙建辉;蔡如鹏;袁巧玲;单晓杭;周海清;;基于气体润滑的无摩擦旋转供气装置[J];轻工机械;2013年04期

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中国博士学位论文全文数据库 前1条

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3 张伟;气体静压轴承用三维连续网络多孔Al_2O_3/ZL102材料制备及性能研究[D];南昌航空大学;2013年

【二级参考文献】

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2 门连通;白淑t，

本文编号：630960