二维零位光栅自动纳米定位系统

发布时间：2017-08-09 12:37

  本文关键词：二维零位光栅自动纳米定位系统

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【摘要】：搭建了能够在二维方向上实现纳米级定位的二维自动定位系统。首先,加工了栅格间距为5μm的64×64编码的透射式二维零位光栅;然后,分析设计了光栅系统光电转换电路和数据控制电路,实现了系统数据采集、显示和运动控制等功能。在此基础上搭建了基于二维零位光栅的纳米定位系统,并利用积分法实现了二维方向的自动定位。实验结果表明,系统定位速度对透射光强分布具有很高的依赖性,系统一次定位的成功率与初始位置密切相关。若起始位置在以零位为中心,半径为2.5μm圆形区域内,系统可实现纳米量级定位对准;当起始位置在以零位为中心,5~200μm为半径的圆环范围内,自动定位可能存在盲点,但通过改变初始位置重新进行搜索,仍然能够准确地实现纳米定位。
【作者单位】： 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系;
【关键词】： 二维零位光栅 自动对准 定位算法 电路噪声 精度分析
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.51275502,91223203) 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ040136) 中国博士后科学基金资助项目(No.2012M511416,2012M521245) 中央高校基本科研业务费专项基金青年创新基金资助项目(No.KB2090090001)
【分类号】：TH74;TB383.1
【正文快照】： 1引言随着科学技术不断地向微尺度领域深入发展,高精度的定位和对准系统在科研和生产应用中发挥了越来越重要的作用[1]。航天技术、微电子工程、精密工程、计量科学与技术、光学与光电子工程、生物工程、纳米科学与技术等领域迫切需要纳米级的定位对准[2-3]。纳米定位技术已成

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本文编号：645345