KDP晶体表面波纹度的分析与研究

发布时间：2017-08-09 13:19

  本文关键词：KDP晶体表面波纹度的分析与研究

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【摘要】：针对工艺参数对KDP晶体表面波纹度值的影响问题,基于二次通用回归旋转组合方法优化KDP晶体单点金刚石飞刀切削工艺参数组合,采用单因素和多因素法分析各因素对表面波纹度的影响规律,并以此为基础优化工艺参数,进行KDP晶体切削实验。试验表明:各因素对表面波纹度的影响程度大小顺序为:进给量二次项、进给量、转速、转速与进给量的交互作用。优化出表面波纹度值最小时的加工工艺参数组合:刀具圆弧半径为9mm;转速为633r/min;进给量为11.8μm/r;背吃刀量为21μm,利用此组工艺参数加工出KDP晶体的表面波纹度为0.02μm。
【作者单位】： 北京工业大学;北京工研精机股份有限公司;
【关键词】： KDP晶体 单点金刚石飞刀切削 二次通用回归旋转组合 波纹度 工艺参数
【基金】：国家科技重大专项“特殊晶体材料单点金刚石飞刀切削超精密机床”(2011ZX04004-042)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言KDP(磷酸二氢钾KH2PO4)晶体是一种性能优良的非线性光学元件。目前,大口径KDP晶体是唯一可用作惯性约束核聚变系统中高功率激光驱动装置器的Pockels盒的光学晶体材料[1]。KDP晶体具有质软、易潮解、脆性高、各向异性、对温度变化敏感和易开裂等一系列不利于加工的特点,使

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本文编号：645483