大口径反射镜子孔径拼接自检验精度分析

发布时间：2017-08-13 08:41

  本文关键词：大口径反射镜子孔径拼接自检验精度分析

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【摘要】：为了解决大口径反射镜子孔径拼接精度评价的问题,提出了自检验的子孔径拼接精度分析方法,实现了对大口径反射镜拼接精度的分析评价,同时提供了一种拼接精度检测方法。自检验即利用子孔径检测面形对拼接获得的拼接结果进行拼接精度检验。讨论了相应的精度评价指标及计算方法,并结合工程实例,利用准600mm干涉仪实现了对准800mm平面镜的拼接测量。以自检验的评价方式对拼接精度进行了分析,结果表明,拼接结果是准确的,同时验证了以自检验方式评价拼接精度的可靠性与准确性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;中国科学院大学;长春奥普光电技术股份有限公司;
【关键词】： 光学检测 精度分析 大口径反射镜 子孔径拼接 自检验
【基金】：国家自然科学基金(61036015) 国家高技术研究发展计划(O8663NJ090)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言作为一种高精度光学镜面测量方法,子孔径干涉测量的核心思想是“以小检大”,可以有效提高分辨率,增大测量范围。可以直接对平面、球面以及陡度不大的非球面进行测量。子孔径干涉检测在20世纪80年代由Arizona光学中心的C.J.Kim提出,最初拼接检测中各子孔径间是不重叠的,主

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1 赵彤,彭光正,许耀铭;高频脉动流量间接测量方法的研究[J];计量学报;1992年02期

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本文编号：666415