基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究

发布时间：2017-08-13 09:03

  本文关键词：基于光纤双波干涉的台阶高度在线高精度测量研究

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【摘要】：提出一种基于双波干涉的台阶高度光纤在线干涉测量系统。利用光纤光栅(FBG)只反射布拉格波长的特性,使两个波长同时并独立地工作于同一个光纤干涉测量系统中,每个波长的干涉信号分别并同时被探测,将测量量程扩大为半合成波波长。利用反馈电路补偿环境干扰对光纤干涉测量系统的影响,使光纤干涉测量系统适合于在线测量。本光纤干涉测量系统可测量的最大台阶高度达1mm,测量分辨率小于1nm。
【作者单位】： 北京交通大学理学院物理系光电检测研究所;
【关键词】： 光纤测量 干涉测量 台阶高度测量 在线测量
【基金】：国家自然科学基金(50975022) 北京市自然科学基金(3132033)资助项目
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言在微电子、微机电系统(MEMS)、平板显示和光伏电池等领域,通常会出现很多高度差从几μm到1mm的台阶结构,为了得到高质量的产品,需要对这些台阶高度进行高精度在线测量。由于传统的单波长干涉测量技术的干涉信号存在相位模糊的问题[1],不能对大于半波长的台阶高度进行测量

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本文编号：666453