高精度透射式光电定心仪的研究

发布时间：2017-08-14 16:19

  本文关键词：高精度透射式光电定心仪的研究

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【摘要】：针对目前定心仪产品精度不高、结构复杂且形式单一的现状,在对传统透镜表面反射像定心法、球心自准像定心法和光学电视定心法的不足进行分析的基础上,提出了一种高精度透射式光电定心仪研究方法。系统采用激光为光源,设计了扩束准直系统,使入射到待测透镜上的为发散角极小的平行光;利用位置敏感探测器PSD测量经过待测透镜会聚的光斑重心坐标,来判断是否实现精确定心。该定心仪结构简单、测量方便,可在测量范围+∞≥R≥-∞内,达到1μm的定心精度,在透镜加工领域具有很广阔的发展前景。
【作者单位】： 长春理工大学光电信息学院;中国中车长春轨道客车股份有限公司;
【关键词】： 定心仪 透射式 高精度 扩束准直 PSD
【基金】：吉林省科技厅项目(No.20100610)资助
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言在现代光学技术的各个领域中,光学仪器成为了不可或缺的重要部分。为了使光学仪器具有较高的测量精度,首先就要严格限制透镜的偏心误差,保证透镜几何轴与系统光轴的一致性,使其分辨率接近衍射极限,特别在侦察卫星照相机镜头、大规模集成电路制造用微缩镜头、制版镜头以及

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