基于高精度电子水平仪的平面镜水平调整方法

发布时间：2017-08-14 16:26

  本文关键词：基于高精度电子水平仪的平面镜水平调整方法

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【摘要】：本文提出一种基于高精度电子水平仪实现平面镜反射面水平调整的方法,利用平面镜水平基准作参考进而实现激光干涉仪测量光束竖直方向准直的目的。利用该方法搭建的实验装置通过最短的传递环节将竖直轴向标准传递至平面镜反射面的水平调整上,建立数学模型证明了该方法可行性,并给出了仿真结果;通过实验及分析,本文搭建的实验装置竖直轴向标准精度小于28μrad,传递至平面镜的反射面上,实验得到平面镜水平倾角小于30μrad,从而实现一种平面镜反射面作为参考级水平基准的调整;最后设计实验应用于光束竖直方向准直调整,并实现与酒精液面参考的直接比对,实验证明本文搭建的平面镜水平调整装置与传统的酒精液面参考水平特性高度吻合。
【作者单位】： 哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院;中国计量科学研究院;国家质检总局电学量子基准重点实验室;
【关键词】： 电子水平仪 竖直轴向标准 平面镜水平参考 液面参考
【基金】：国家自然科学基金(91536224;51477160)资助项目
【分类号】：TH744.5
【正文快照】： 1引言精密光学测量领域中,激光干涉仪用来实现被测物高精度位移测量,如果测量光束入射方向调整不好会引入余弦误差,因此激光光束的准直是调整环节中关键一环。光束准直即实现光束方向沿被测物运动方向(或定义方向)调整和测量,准直需要有参考标准,为了实现高精度的测量和调整需

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本文编号：673602