高精密滚转角测量干涉仪

发布时间：2017-08-15 10:16

  本文关键词：高精密滚转角测量干涉仪

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【摘要】：现有的各种激光干涉仪可以方便地测量围绕垂直于直线位移方向的两个转角偏移,但是对于围绕运动轴的滚转角偏移,特别是对于大行程运动,缺乏有效的测量方法。针对各种高精密直线运动定位装置,设计一个新型的差分平面干涉仪,并采用一个楔面棱镜和楔面反射镜,组合成为一个几何空间对称四光路系统,构成新型的高精密滚转角激光干涉测量仪。它不需要与行程同长的大反射参考镜,但同样能实现高分辨率,而且简便实用,可以直接溯源米定义。试验证明,几何空间对称四光路滚转角干涉测量仪能够有效地排除其他自由度运动的干扰,利用它可以快速高效地测量各种精密直线位移运动的滚转角。使用普通的2π/360细分相位计,测量分辨率为1.1″,若使用2π/36 000的高精密细分相位计,滚转角的测量分辨率可达到0.01″。
【作者单位】： 上海理工大学光电信息与计算机工程学院;
【关键词】： 滚转角 外差干涉仪 偏振分光
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51075280)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 0前言滚转角是指物体在运动过程中产生围绕运动轴的旋转角度误差,因为它是随着直线前进的同时绕直线运动轴旋转,所以被称作滚转角。近年来,对超精密位移的精度要求越来越高,在各种高性能精密数控机床和三坐标测量机中通常已经小于100 nm或者几十nm,在光栅刻划工作台和各种精密

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 马军山,王向朝,方祖捷;滚转角误差的光学精密测量技术研究[J];光学学报;2000年10期

2 张虎,周云飞,唐小琦,陈吉红,师汉民;数控机床误差的激光干涉仪自动瞄准测量及补偿技术研究[J];机械工程学报;2002年09期

3 朱嘉;李醒飞;谭文斌;向红标;陈诚;;基于激光干涉仪的测量机几何误差检定技术[J];机械工程学报;2010年10期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 孙向阳;段洁;李杰;;移动式太阳模拟器转动误差计算及消除方法研究[J];长春大学学报;2009年12期

2 徐一丹;周剑;孙祥一;张小虎;;基于单目视觉的三点测量滚转角方法[J];飞行器测控学报;2011年02期

3 向丽;张晓怀;陈兵;;基于数字图像的空间目标滚转角测量方法[J];光电工程;2006年10期

4 马军山,张世宙;一种高分辨力角位移传感器量程扩展方法[J];光电子·激光;2002年09期

5 匡萃芳,冯其波,刘斌;滚转角测量方法综述[J];光学技术;2004年06期

6 任成;谈宜东;张书练;;正交偏振激光角度测量技术综述[J];光学技术;2010年02期

7 李立春,于起峰,雷志辉,李健兵;基于数字图像的高精度面内转角测量方法[J];光学学报;2005年04期

8 曹睿;张斌;冯其波;方恒楚;由凤玲;;多自由度误差同时测量中的滚转角测量方法[J];光学学报;2008年12期

9 刘勇军;范晋伟;李云;穆东辉;;数控凸轮轴磨床精度可靠性维持技术[J];北京工业大学学报;2013年10期

10 吕勇;孙鹏;刘力双;耿蕊;郝雯霞;马彬;;基于双CCD的滚转角测量方法研究[J];光学技术;2013年05期

中国博士学位论文全文数据库 前6条

1 朱嘉;基于视觉与触觉集成传感的多坐标组合测量系统的研究[D];天津大学;2010年

2 张宏韬;双转台五轴数控机床误差的动态实时补偿研究[D];上海交通大学;2011年

3 翟玉生;多自由度误差同时测量中滚转角高精度测量方法的研究[D];北京交通大学;2012年

4 任素波;偶数齿烧结机主运动系统设计理论研究[D];燕山大学;2012年

5 李鹏;加工中心在机复合式检测系统的关键技术研究[D];大连海事大学;2012年

6 何振亚;五轴数控机床几何与热致空间误差检测辨识及模型研究[D];浙江大学;2014年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 吴伟;在机检测系统检测精度分析与研究[D];武汉理工大学;2011年

2 王俣;气象辐射仪检定用多维自动检测平台研究[D];长春理工大学;2011年

3 申小军;方位垂直传递装置中的信号检测与控制技术研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年

4 金飞翔;结晶器内腔尺寸自动测量机误差分离与修正方法研究[D];合肥工业大学;2006年

5 曹睿;滚转角误差测量方法的研究[D];北京交通大学;2008年

6 于瑞涛;基于嵌入式的微型轴承摩擦力矩测试系统设计[D];上海交通大学;2008年

7 和法洋;平面二次包络四轴四联动数控磨床建模及精度分析[D];西华大学;2009年

8 何振亚;数控机床三维空间误差建模及补偿研究[D];浙江大学;2010年

9 姜辉;FA-32M数控铣床误差建模与实时补偿技术研究及应用[D];上海交通大学;2009年

10 曲淑娜;加工中心主轴热误差检测与补偿建模研究[D];大连理工大学;2012年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前9条

1 曹利波;;利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测[J];红外与激光工程;2008年S1期

2 张虎,周云飞,唐小琦,陈吉红;数控机床定位误差的软件补偿[J];华中科技大学学报;2001年04期

3 张敏;;基于激光干涉仪的数控机床几何误差检测与辨识[J];机械工程师;2006年09期

4 张虎,周云飞,唐小琦,陈吉红,师汉民;数控机床误差的激光干涉仪自动瞄准测量及补偿技术研究[J];机械工程学报;2002年09期

5 任永强,杨建国;五轴数控机床综合误差补偿解耦研究[J];机械工程学报;2004年02期

6 高猛,李铁民,尹文生,段广洪;一种基于相关性分析的并联机床标定方法[J];机械工程学报;2005年01期

7 王凌云;张国玉;徐熙平;;基于蛙跳式柔性三坐标测量系统误差理论分析[J];机械工程学报;2009年04期

8 张虎,周云飞,唐小琦,陈吉红,师汉民;基于激光干涉仪的数控机床运动误差识别与补偿[J];中国机械工程;2002年21期

9 张国雄;误差修正──提高坐标测量机精度的重要方向[J];机床;1986年08期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 向玉伟;朱中根;朱红星;;不同滚转角下的三片弧尾翼鸭式导弹风洞实验研究[J];弹箭与制导学报;2013年06期

2 卢志才;高敏;贾春宁;;基于地磁信息的火箭弹滚转角测量系统研究[J];中国测试;2014年03期

3 曹鹏;王晓鸣;于纪言;吴有龙;;地磁与卫星组合的弹丸滚转角测量与误差分析[J];弹箭与制导学报;2013年06期

4 匡翠方;冯其波;张斌;张志峰;陈士谦;;一种新的滚转角测量方法[J];光电子·激光;2006年04期

5 韩林;张大卫;;测量线性工作台滚转角误差的多探头法[J];天津大学学报;2012年02期

6 殷纯永,谢广平,成相印,戴高良;滚转角测量方法的研究[J];清华大学学报(自然科学版);1996年10期

7 尚煜;张江华;;基于外辐射源照射的弹体滚转角测量技术[J];电子科技;2014年03期

8 杨新刚;黄玉美;朱德祥;包宝军;;基于激光干涉仪的垂直轴滚转角误差测量方法[J];中国机械工程;2009年12期

9 吕勇;孙鹏;刘力双;耿蕊;郝雯霞;马彬;;基于双CCD的滚转角测量方法研究[J];光学技术;2013年05期

10 李冰;霍鹏飞;祁克玉;;基于双轴磁强计及GPS的滚转角测量方法[J];现代电子技术;2012年11期

中国博士学位论文全文数据库 前2条

1 陈勇巍;基于地磁探测的弹丸滚转角辨识系统关键技术研究[D];南京理工大学;2007年

2 翟玉生;多自由度误差同时测量中滚转角高精度测量方法的研究[D];北京交通大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库 前4条

1 张桐;基于特殊棱镜的滚转角测量误差分析补偿方法的研究[D];北京交通大学;2014年

2 曹睿;滚转角误差测量方法的研究[D];北京交通大学;2008年

3 曹平军;基于地磁场的飞行体滚转角测量技术研究[D];中国舰船研究院;2014年

4 曲磬;基于地磁测量的弹丸滚转角实时解算[D];南京理工大学;2009年

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本文编号：677625