超精表面缺陷检测的光学混频误差分析

发布时间：2017-08-17 01:13

  本文关键词：超精表面缺陷检测的光学混频误差分析

  更多相关文章： 测量 外差干涉 偏振光 琼斯矩阵 频率混叠 非线性误差

【摘要】：双频激光外差干涉法与扫描探针相结合的超精表面缺陷检测系统具有很高的分辨率。但系统光源和光学器件的各种误差因素会产生非线性混频误差,影响系统精确测量。利用琼斯矩阵分析了同时存在激光光源椭圆偏振化和方位角误差以及光学器件相位延迟和偏振泄漏等综合因素引起的偏振态变化,并由此研究了它们频率混叠产生的非线性误差。结果表明,由各种误差因素引起的非线性混频误差呈正弦规律变化,激光光源非理想和偏振分光镜对位移测量误差影响较大而1/4波片的影响较小。同时,结合计算结果对系统提出了减少非线性误差的方法措施。
【作者单位】： 广西师范大学物理科学与技术学院;清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;
【关键词】： 测量 外差干涉 偏振光 琼斯矩阵 频率混叠 非线性误差
【基金】：国家自然科学基金(61362035,51275259)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言对超精加工表面进行检测是盘片或晶片制造过程中的重要组成部分。电子产品高集成化和高性能化发展,要求对抛光盘片或晶片的超精表面缺陷检测实现纳米级分辨率进而提高成品率。相对于表面检测技术如光学干涉法等[1-3],外差干涉与探针扫描集成化检测技术则具有纳米级的纵向

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本文编号：686423