尘埃粒子计数器全粒径范围内计数效率的校准
本文关键词:尘埃粒子计数器全粒径范围内计数效率的校准
【摘要】:为实现对尘埃粒子计数器全粒径范围内的计数效率校准,分别对尘埃粒子计数器(OPC)-凝结核粒子计数器(CPC)-气溶胶静电计(FCAE)的逐级溯源方法和光学显微镜计数方法进行技术研究,建立一套完整的校准方法和装置。结果表明:装置具有很好的溯源性,能保证国内关于尘埃粒子计数器计数效率的计量技术的准确性。
【作者单位】: 中国石油大学(北京)化学工程学院;中国计量科学研究院纳米与新材料计量研究所;
【关键词】: 尘埃粒子计数器 计数效率 校准
【基金】:国家科技支撑计划项目,编号:2011BAK15B05
【分类号】:TH724
【正文快照】: 空气中颗粒物污染不仅危害人类健康[1],还是医药、电子、航空等行业生产及加工工艺中主要的污染来源,如在电子行业及芯片制造工业中,气体中微小颗粒物的沉积会造成电气不良特性甚至更严重的破坏,因此准确评价空气洁净度已经成为这些行业生产和产品检测的迫切要求[2]。在我国国
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