基于指数法评估激光量热仪吸收测量不确定度

发布时间：2017-08-24 01:14

  本文关键词：基于指数法评估激光量热仪吸收测量不确定度

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【摘要】：为了掌握熔石英样品在紫外波段的吸收特性,研究了精确评估激光量热仪测量不确定度的方法。介绍了激光量热仪的吸收测量原理,选用指数法对吸收测量数据进行了拟合;通过分析各吸收率测量结果的影响分量,建立了测量不确定度评估模型;对各输入量的估计值以及估计值的标准不确定度逐一进行计算,并对影响吸收率测量结果的拟合计算参数A、γ进行了修正。考虑背景温度漂移对被测样品温度测量的影响,利用Matlab编程分析了线性、非线性温度漂移对吸收计算结果的影响,获得其相对标准不确定度及相对扩展不确定度分别为2.6%和5.2%。最后,更换熔石英基底并进行多次吸收测量,计算了吸收率10次测量结果平均值的相对标准不确定度为2.3%,相对扩展不确定度为4.6%,与评估结果基本相同。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心;
【关键词】： 测量技术 激光量热仪 指数法 吸收测量 不确定度 温度漂移 熔石英
【基金】：国家重大科技专项基金资助项目(No.2009ZX02205)
【分类号】：TH744.5
【正文快照】： 本文首先简单介绍了激光量热仪以及指数法1　引　言的原理,然后根据指数法的数据处理公式,通过找出熔石英基底的质量、比热容、激光功率、环境温　　投影物镜系统是深紫外光刻系统最核心的部度等吸收率测量结果的影响量,建立了测量不确分之一[1-2]。物镜元件在激光作用下的吸

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