光学微结构表面精密加工的关键技术研究

发布时间：2017-08-24 02:38

  本文关键词：光学微结构表面精密加工的关键技术研究

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【摘要】：MOC在现代的光学仪器、设备及相关产业中得到越来越广泛的运用。而国内仍停留在初级的加工工程中,相关的技术、制造水平和国外发达国家相比具有很大的差距。而且国内很多相关新技术的开发运用都停留在高校、研究所的实验室中。本文针对立体回转类的一种MOC产品进行加工研究,从产品的分析、工艺路线的安排、加工生产的控制一直到检测确认进行了一整套完成的加工生产实验。期间进行了大量的实验,积累了相当的实验数据,对同类型的产品生产制备起到了一定的规律性结论,最终摸索出一套完整的工艺方案和制备方法。由于立足于市场,所以同时对突破国外的技术壁垒,创造市场经济效益有着非常积极的作用和意义。
【关键词】：微结构加工 微型阵列 金刚石超精密加工 SPDT多轴联动
【学位授予单位】：华东理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2016
【分类号】：TH74
【目录】：

• 摘要5-6
• Abstract6-8
• 第一章 绪论8-16
• 1.1 课题来源及意义8
• 1.2 光学微结构元器件的用途及市场价值8-9
• 1.3 国内外的进展及发展趋势9-14
• 1.3.1 国内的发展情况9-11
• 1.3.2 国外的发展情况11-14
• 1.4 课题研究的目标14
• 1.5 课题研究的内容14-16
• 第二章 微结构加工的基础分析16-24
• 2.1 产品的材料确定16-17
• 2.2 机床设备的选择17-18
• 2.3 加工的刀具选择18-21
• 2.4 加工试验参数的分析及设定21-24
• 第三章 微结构加工参数的调整与试验24-30
• 3.1 多轴联动程序的试验24-25
• 3.2 加工参数的试验25-28
• 3.3 加工环境的试验28-30
• 第四章 加工试验分析30-52
• 4.1 加工设备、刀具、附件介绍30-35
• 4.1.1 加工设备30-33
• 4.1.2 金刚石切削刀具33-34
• 4.1.3 加工切削附件34-35
• 4.2 加工参数的细分及优化35-38
• 4.3 不同加工参数加工结果的分析对比38-46
• 4.4 最终加工参数的统计分析46-52
• 第五章 结论和展望52-55
• 参考文献55-59
• 在学期间取得的与本论文相关的科研成果59-60
• 致谢60

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 巩岩;赵磊;;单点金刚石机床及其在光学工程领域的应用[J];中国光学;2011年06期

2 牛景丽;陈东海;;现代超精密加工机床的发展及对策[J];机床与液压;2010年02期

3 李池娟;孙昌峰;孟凡波;孟小龙;;单点金刚石车削技术的研究[J];激光与红外;2009年12期

4 赵清亮;王义龙;于光;杨元华;;微结构功能表面的金刚石超精密加工仿真与试验[J];机械工程学报;2009年12期

5 赵峻彦;王鹏;;衍射元件单点金刚石车削的工艺参数[J];机械设计与研究;2009年04期

6 王丽丽;管从胜;孙从征;;热处理对镍-磷合金镀层结合强度和硬度的影响[J];电镀与精饰;2008年02期

7 吴丹;孙京海;王先逵;;非轴对称车削成型方法探讨[J];清华大学学报(自然科学版);2006年11期

8 吴英;周兆英;江永清;向毅;小野崇人;;金属三维微结构加工技术的研究[J];仪表技术与传感器;2006年01期

9 杨元华,陈时锦,程凯,孙西芝;超精密机械加工技术在微光学元件制造中的应用[J];航空精密制造技术;2005年04期

10 李荣彬,张志辉,李建广;单点金刚石车削加工的动态特性研究[J];机械工程学报;2003年10期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 李增强;圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧的机械研磨及其检测技术[D];哈尔滨工业大学;2008年

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本文编号：728752