一种新型差分平面镜干涉仪

发布时间：2017-09-03 22:05

  本文关键词：一种新型差分平面镜干涉仪

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【摘要】：针对传统差分平面镜干涉仪结构复杂、需要光学部件多从而导致系统调试困难、测量信噪比低等缺点,提出了一种结构简单需要光学部件少的新型差分平面镜干涉仪系统。此干涉仪能够产生对称的空间四光路,对环境因素(湿度、温度及大气压)的变化有很好的抗干扰能力,测量分辨率高。如果附加其他光学元件,可轻易实现对偏摆角、微滚转角、直线度等几何量的测量。静态状态下,其位移漂移小于1nm,而同等条件下传统迈克耳孙干涉仪漂移大于10nm。基于此系统的精密角度测量干涉仪,使用电子细分为2π/516的相位计,可以得到0.024μrad的测量分辨率。
【作者单位】： 上海理工大学光电信息与计算机工程学院;
【关键词】： 测量 外差干涉仪 差分平面镜干涉仪 光程死区
【基金】：国家自然科学基金(51075280) 上海市研究生创新基金(JWCXSL1302)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言在军工、航天、数控机床等高科技领域,精密基准计量和几何量精密测量具有非常重要的作用,特别是直线度的测量技术,越来越引起人们的重视[1-3]。激光外差干涉仪能够以简单的相位比较取得较高的测量分辨率,由于其具有结构简单,抗干扰能力强等优势,广泛应用于纳米精度以及亚

【参考文献】

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本文编号：787585