大口径反射镜组件面形检测系统及方法研究

发布时间：2017-09-04 01:36

  本文关键词：大口径反射镜组件面形检测系统及方法研究

  更多相关文章： 测量 大口径反射镜 面形测量 S-H波前传感器 子孔径拼接 混联拼接

【摘要】：大口径反射镜组件检测存在的设备昂贵、环境要求苛刻等问题。基于S-H波前传感器的子孔径拼接检测技术,对其拼接算法进行改进,提出混联拼接算法,有效减小拼接导致的面形检测误差。该方法结合自准直波前检测系统和高精密二维扫描系统形成大口径反射镜反射面形拼接检测系统。对比实验表明,该系统测量误差为0.072λ,满足高功率固体激光器对大口径反射镜组件装校过程面形控制的要求。
【作者单位】： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【关键词】： 测量 大口径反射镜 面形测量 S-H波前传感器 子孔径拼接 混联拼接
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言大口径反射镜组件是高功率固体激光器光传输过程中波前控制的关键组件之一。国内外关于高功率固体激光器的研究表明,传输光束波前畸变会严重影响焦斑能量分布,甚至影响激光装置可靠运行,为此国内外大型高功率固体激光器都设法控制大口径反射镜组件反射面形。大口径反射镜

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本文编号：788601