圆光栅衍射光干涉偏心测量方法

发布时间：2017-09-05 12:46

  本文关键词：圆光栅衍射光干涉偏心测量方法

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【摘要】：光电编码器的测量精度受轴系精度、圆光栅精度、电子学细分精度等多种因素影响,而圆光栅盘的偏心作为重要的系统误差,直接影响了光电编码器的测角精度。随着光栅线密度的增大,衍射现象变得明显,此时传统的莫尔条纹检测方法已无法提取出高质量的信号,显微镜检测的精度无法满足实际要求。本文利用衍射光干涉原理,提取高密度圆光栅位移信息,用于测量高密度圆光栅的偏心量。该方法使用对径放置的两个光电读数头采集干涉条纹信号,通过对比两路信号的相位差最终解算得到圆光栅盘偏心量,并搭建了试验平台进行了验证。试验结果表明,对刻划中径34 mm,一周刻线45 000 lp的高密度圆光栅进行偏心量的测量,比传统方法使用显微镜的测量瞄准精度提高数十倍甚至上百倍。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;浙江大学光电信息工程学系;
【关键词】： 衍射光干涉 多普勒频移 圆光栅偏心测量 角度测量
【分类号】：TH741.23
【正文快照】： 1引言光电编码器目前作为测角仪器,广泛应用在自动化以及精密测量领域。圆光栅作为编码器的核心元件,其测量精度直接决定了整个编码器的精度。在编码器的装调过程中,圆光栅不可避免的会产生偏心,这种偏心误差会对测量出的角度位置产生影响,对精度要求越高的系统,偏心带来的影

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本文编号：798066