双静电四极透镜点聚焦特性分析与仿真

发布时间：2017-09-08 13:15

  本文关键词：双静电四极透镜点聚焦特性分析与仿真

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【摘要】：静电四级透镜具有优越的电子光学聚焦成像性能,单一静电四极透镜可实现电子束线聚焦,组合静电四极透镜系统拥有点聚焦的能力。文中对实现点聚焦的双静电四极透镜系统相关参数进行了计算,利用电子光学软件SIMION仿真发现,静电四极透镜之间的畸变场与两端的边缘场引起的像差会严重影响系统聚焦成像质量。仿真分析了系统像差与发射电子初动能的关系。结果表明:系统在保证点聚焦的情况下,增加电子发射初动能可以有效减小系统像差;当电子初动能增加至1×105 e V时,最大发散角为2°的电子束在聚焦平面上的弥散斑减小至3.2μm×28μm。
【作者单位】： 哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家级重点实验室;
【关键词】： 双静电四极透镜 点聚焦 像差 SIMION
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项资金(2012YQ040164)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言静电四极透镜是一种具有面对称场分布的电子光学系统,具有优越的电子光学成像性能[1]。单一静电四极透镜可实现电子束的线聚焦,组合静电四极透镜系统拥有点聚焦的能力,双静电四极透镜系统以其较强的聚焦能力引起了广泛研究[2-6]。目前的文献并没有从实际运用的角度针对系，

本文编号：814231