反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅

发布时间：2017-09-08 14:05

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【摘要】：相比类矩形槽罗兰光栅,闪耀罗兰光栅的衍射效率较高,更有利于光谱分析仪器的设计与应用,而国内外尚无产品级闪耀罗兰光栅产品.本文通过类矩形槽形及闪耀槽形的衍射效率优化设计及对比,获得了闪耀槽形优化设计结果;利用反应离子束刻蚀设备制作出3块200~450 nm波段、线密度为2 400 gr/mm、口径为Φ63.5 mm的闪耀罗兰光栅,其中光栅2的峰值衍射效率达到了65%@220 nm,较HORIBA Jobin Yvon公司生产的类矩形槽罗兰光栅产品整体衍射效率高25%,与理论衍射效率相当.实验结果表明,本文所采用的反应离子束刻蚀工艺可实现高衍射效率闪耀罗兰光栅制作,且工艺可控、稳定,所制作的闪耀罗兰光栅衍射效率高于国外同类产品.
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【关键词】： 衍射效率 反应离子束刻蚀 粗糙度 罗兰光栅
【基金】：国家高技术研究发展计划(863计划)重大资助项目(2010AA1221091001) 国家重大科研装备开发专项资助项目(2011YQ120023)
【分类号】：TH744.1
【正文快照】： 光栅是光谱仪器的核心元件,依托于光谱仪器的光谱分析技术在工业、农业、医药、环境、生物医学等领域得到了广泛应用[1-5].目前光栅光谱仪的发展方向主要有宽波段、高分辨率、微型化等几个方面.罗兰光栅由于其成像于罗兰圆上,所有波长光谱像的离焦和子午彗差均为零[6-7],在光

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