X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试

发布时间：2017-09-09 09:06

  本文关键词：X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试

  更多相关文章： 上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试

【摘要】：介绍了上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线的基本情况。为实现光束线的光束偏转和光路切换,完成了其偏转镜系统的研制。分析了偏转镜系统的功能,设计了偏转镜的调节机构、切换机构和冷却结构。论述了调节机构的关键运动,即镜箱外直线运动转化为超高真空内旋转运动的实现过程;讨论了切换机构重复精度与承载能力之间的关系,并完成了精密丝杆的校核。采用镜子支撑方式和冷却方式集成的方案设计了冷却结构,并通过数值模拟分析了冷却结构和冷却效果。模拟结果表明镜子子午面形误差和弧矢面形误差分别约为6.5rad和7rad。应用激光干涉仪和光电自准直仪对调节机构和切换机构进行了测试,结果表明:调节机构的线性分辨力可达0.2μm,切换机构的重复精度满足设计要求。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【关键词】： 上海同步辐射光源 X射线干涉光刻 偏转镜 结构设计 精度测试
【基金】：国家重大科学工程资助项目 上海光源工程资助项目(No.SS-06) 国家自然科学基金资助项目(No.11079035)
【分类号】：TH74;TN305.7
【正文快照】： 1引言当今世界,纳米科技飞速发展,纳米结构的复杂程度、尺寸和性能都在不断提高。获得更小特征尺寸的纳米结构以及其组装结构是越来越多科研人员的目标。为了获得更小特征尺寸的纳米结构,科研人员开发了多种微纳加工技术,如电子束直写光刻、聚焦离子束刻蚀、激光干涉光刻和纳

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 姚文学;转镜补偿分幅相机的设计[J];光子学报;1983年04期

2 李景镇;转镜分幅相机的五心[J];光子学报;1978年00期

3 陈俊人;中科院西安光机所研制的转镜高速摄影机[J];光子学报;1987年03期

4 吴建国;正多边形截面转镜弹性变形的计算及应用[J];光子学报;1987年03期

5 陈俊人;转镜分幅相机的设计和计算[J];光子学报;1977年Z1期

6 黄惠明,周荫清,周泗忠,杨晓许,相里斌,高昕;转镜式光谱仪光程差和非线性的研究[J];光子学报;2003年10期

7 A·Lgel ,姚文学;转镜相机设计计算[J];光子学报;1973年01期

8 吴建国,陈俊人,郎见林;平面光路在等待式转镜高速摄影机中实现同时分幅扫描[J];光子学报;1987年03期

9 张树仁，，潘毓学，杨志文，陆博良，马文生;激光扫描转镜工作角偏差检测新方法[J];光学技术;1996年01期

10 徐心平;50万转/分电动摩擦升速高速转镜装置[J];光子学报;1986年04期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 孙帅;宋玉贵;;弹道跟踪转镜成像研究[A];2010年西部光子学学术会议摘要集[C];2010年

2 党君礼;刘百玉;欧阳娴;白永林;舒雅;熊发田;李晓坤;雷娟;;基于FPGA的新型光电转速监测系统设计[A];高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集[C];2008年

3 李剑;;大画幅转镜式等待分幅相机设计[A];第十二届全国实验力学学术会议论文摘要集[C];2009年

4 高志良;;一种无刷直流电机驱动的高精度转镜式激光扫描器设计[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅱ[C];2011年

5 汪伟;畅里华;刘宁文;;高速变像管相机扫描速度不均匀性检定[A];中国工程物理研究院科技年报（2000）[C];2000年

6 朱涛;熊春阳;;基于微悬臂梁的生化传感器检测及校准[A];中国生物医学工程进展——2007中国生物医学工程联合学术年会论文集（上册）[C];2007年

7 畅里华;谭显祥;汪伟;尚长水;李剑;田建华;;纹影摄影技术及其应用[A];第四届全国爆炸力学实验技术学术会议论文集[C];2006年

8 宋倩倩;曾向阳;;基于单传声器虚拟时间反转镜的室内声源定位[A];第二届西安-上海两地声学学术会议论文集[C];2011年

9 齐杭丽;杨甬英;;气动轴系及其回转精度测定实验系统设计[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年

10 张洪涛;徐海峰;翟旭华;;激光扫描大直径工件检测方法研究[A];科技创新与节能减排——吉林省第五届科学技术学术年会论文集（上册）[C];2008年

中国重要报纸全文数据库 前7条

1 安岚坡;“远方”测量设备通过联合国开发署项目验收[N];消费日报;2008年

2 ;拍我拍她多惬意[N];电脑报;2004年

3 深圳报业集团驻京记者　徐香梅 姜媛 本报记者 李兴华;“深圳的创新氛围激发了我”[N];深圳特区报;2006年

4 姜小勇 任长清;CTP技术和GTcP技术的分析与对比[N];中国包装报;2008年

5 本报记者 刘晖;续写数码梦想[N];计算机世界;2002年

6 通讯员 谭支河;科普大篷车开进巴东校园[N];湖北科技报;2007年

7 记者 黄磊、通讯员 欧阳、小童;国内激光企业中楚天激光拥有专利最多[N];湖北日报;2003年

中国博士学位论文全文数据库 前4条

1 杨鹏;高速磁悬浮转镜的研究与设计[D];河北工业大学;2001年

2 生雪莉;矢量反转镜时空滤波技术及其在水声中的应用[D];哈尔滨工程大学;2005年

3 于纪言;运动弹丸追踪摄影方法及关键技术研究[D];南京理工大学;2008年

4 胡居广;大屏幕真彩色全固态激光显示系统关键技术研究[D];天津大学;2004年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 程蕾;转镜式高速摄影光学系统设计与研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2011年

2 张Z

本文编号：819526