共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究

发布时间：2017-09-13 12:04

  本文关键词：共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究

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【摘要】：该文通过采用误差分离与修正技术,对微纳米三坐标测量机x-y平面内存在的各项误差进行全面分析。利用高精密检测仪器和标准件,设计误差分离与修正方案,并对修正过的误差项补偿效果进行测试。然后通过实验测量标准量块平面度、长度等量值,以检验修正后的微纳米三坐标测量机测量精度。实验结果显示,一等量块工作面的平面度测量重复性标准差达到9.5nm,x和y方向长度测量的标准差分别达到了10nm和19nm。理论分析和实验表明,所研制的二维高精度工作台可用于高精度的三维测量。
【作者单位】： 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;
【关键词】： 微纳米三坐标测量机 误差修正 二维高精度工作台 三维测量
【基金】：国家863计划重点项目(2008AA042409)
【分类号】：TH721
【正文快照】： 0引言随着超精密加工技术的发展,纳米尺度的三维测量需求越来越迫切。因此,基于纳米三维测量技术的纳米三坐标测量机,成为了国内外著名高校和研究单位的研究热点[1-3]。德国Ilmenau技术大学J壙ger教授[4]所研制、后由SIOS公司商品化的三维纳米定位平台,其x、y轴采用线性马达驱

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 Henny Spaan;Ivo Widdershoven;Rilpho Donker;;“Isara400”超精密坐标测量机的设计与标定(英文)[J];光学精密工程;2011年09期

2 程方;范光照;费业泰;;纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量(英文)[J];纳米技术与精密工程;2010年02期

3 包园园;;三次样条函数在自由曲线测量中的应用研究[J];机械制造与自动化;2009年02期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 黄晋卿;黄梅珍;王龙;施Z赯，

本文编号：843592