基于桥式放大机构的柔顺微定位平台的研究

发布时间：2017-09-13 12:28

  本文关键词：基于桥式放大机构的柔顺微定位平台的研究

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【摘要】：在微位移定位平台设计中,为充分利用桥式机构放大比高的优势,同时使其具有较高的定位精度,在桥式机构的基础上引入了运动导向机构,设计了一种改进型的柔顺微位移定位平台.根据材料力学原理和卡氏定理,推导了该定位平台的放大倍数和固有频率表达式.然后通过有限元软件,对微定位平台的放大倍数和固有频率进行仿真,并与理论计算结果进行了分析对比.最后搭建了微定位实验系统来测试所设计的平台的性能.实验结果表明:该改进型平台的放大比为6.4,固有频率为345.0 Hz.理论模型与有限元仿真得到的放大倍数和固有频率的相对误差分别为2.9%和3.6%,与实验测得的放大比和固有频率的相对误差分别为6.7%和6.8%.实验结果验证了理论模型的正确性.
【作者单位】： 山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室;
【关键词】： 桥式放大机构 运动导向机构 柔顺定位平台 卡氏定理
【基金】：国家自然科学基金(61327003)
【分类号】：TH703.65
【正文快照】： 1引言(Introduction)超精密定位技术广泛应用于精密仪器、机械和机床、IC工艺制造设备等领域[1].传统机械系统多采用直线电机、静压丝杠或摩擦传动器作为驱动装置[2],但这种方式存在摩擦、黏滞等非线性因素,难以满足高精度定位的要求.近年来,以压电陶瓷作为驱动器的基于柔性铰

【参考文献】

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本文编号：843745