高量程压阻式加速度计在高温环境下的失效研究
本文关键词:高量程压阻式加速度计在高温环境下的失效研究
更多相关文章: 高量程加速度计 高温 压敏电阻 传感器结构 固支梁 失效研究
【摘要】:针对高量程压阻式加速度传感器在高温环境下的失效问题,分析了高温对高量程加速度计的影响,得出的失效模式为:高温导致固支梁的翘曲或变形;温度变化引起压敏电阻的变化进而导致传感器输出漂移甚至输出失效;测量电路板在高温下变得扭曲或者导电层的分离。然后,利用ANSYS对固支梁和电路板进行仿真,得出各模块在200℃的温度冲击下结构的动态响应,并通过高温步进应力试验进行验证,得出传感器的工作极限为150℃,破坏极限为160℃。
【作者单位】: 北华航天工业学院计算机科学与工程系;
【关键词】: 高量程加速度计 高温 压敏电阻 传感器结构 固支梁 失效研究
【分类号】:TH824.4;TP212
【正文快照】: 0引言高量程加速度传感器是指具有大动态测量范围的加速度计,范围在几百g到上万g,甚至高达几十万g,主要用于侵彻弹药引信在预定层数的起爆、检测爆炸的冲击过程及武器研制过程中的冲击过载测试等领域。加速度传感器应用在上述领域时,不仅承受高冲击作用,通常受高温、湿度等综
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 高健飞;熊继军;郭涛;范波;;微加速度计在冲击环境下的可靠性研究[J];传感技术学报;2008年02期
2 唐军;赵锐;石云波;刘俊;;高冲击环境下MEMS大量程加速度传感器结构的失效分析[J];传感技术学报;2012年04期
3 陈员娥;刘晴晴;马喜宏;李长龙;;温湿度环境下高量程加速度计可靠性研究[J];传感技术学报;2013年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王世涛;贾玉斌;张斌珍;黄钦文;郝一龙;;微加速度计冲击可靠性及防护[J];传感技术学报;2010年12期
2 王晓倩;李鹏;孟祥然;徐鹏飞;冯薪霖;薛晨阳;闫树斌;;高g光学微腔加速度计的结构设计[J];传感技术学报;2012年08期
3 石云波;赵锐;唐军;刘俊;李科杰;;单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析[J];传感技术学报;2012年09期
4 赵小龙;马铁华;范锦彪;;高g值加速度计在高冲击下的失效特性的研究[J];传感技术学报;2012年12期
5 陈员娥;刘晴晴;马喜宏;李长龙;;温湿度环境下高量程加速度计可靠性研究[J];传感技术学报;2013年06期
6 马可贞;李明慧;赵宇;郭泽彬;闫树斌;张文栋;;高灵敏集成光学加速度计的优化设计[J];传感器与微系统;2014年05期
7 董胜飞;石云波;周智君;李策;李祥;;差分式MEMS面内加速度计设计[J];传感技术学报;2014年07期
8 于丽霞;秦丽;刘俊;王孟美;;随机振动环境中双端四梁结构微加速度计的寿命预测方法[J];传感技术学报;2014年09期
9 李祥;石云波;董胜飞;李策;赵峗;;基于微梁的面内高g值加速度计设计[J];传感技术学报;2014年10期
10 胡向南;祖静;张瑜;黄慧;;电子测压器倒置开关的可靠性研究[J];电子器件;2014年06期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 马沧海;紫外光辅助低温硅片直接键合研究[D];华中科技大学;2008年
2 徐香菊;复合量程微加速度计抗高过载技术研究[D];中北大学;2013年
3 刘恒;侵彻引信的空穴识别算法及电路设计[D];中北大学;2014年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 董培涛;周伟;李昕欣;张屯国;王跃林;封松林;李圣怡;;三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计[J];传感技术学报;2007年08期
2 高健飞;熊继军;郭涛;范波;;微加速度计在冲击环境下的可靠性研究[J];传感技术学报;2008年02期
3 赵锐;石云波;唐军;刘俊;;MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析[J];传感技术学报;2011年08期
4 齐虹,王蕴辉,易德兴,王善慈;硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析[J];传感器技术;2001年04期
5 俞必强;翁海珊;李疆;;微加速度计粘附问题的研究及应用[J];传感器与微系统;2006年06期
6 秦丽;孟召丽;吴永亮;;基于振动传感器性能退化数据的可靠性评估[J];传感器与微系统;2009年09期
7 张伟;温、湿、振三综合环境试验技术的应用[J];电子产品可靠性与环境试验;2004年06期
8 刘加凯;齐杏林;王波;;温度应力对MEMS器件分层失效的影响规律[J];电子元件与材料;2013年03期
9 卢小艳;陆山;;基于威布尔分布k故障试验的寿命可靠性评估[J];机械设计与研究;2005年06期
10 石云波;祁晓瑾;刘俊;孟美玉;;微型高过载加速度传感器的加工与测试[J];机械工程学报;2008年09期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 祁晓瑾;MEMS高g值加速度传感器研究[D];中北大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 于治会;关于加速度计参数的选定[J];航空兵器;2002年06期
2 马欣龙,王永梁;梳齿式微机械力平衡加速度计[J];中国惯性技术学报;2002年03期
3 姜复兴,任顺清;加速度计指北技术研究[J];中国惯性技术学报;2002年05期
4 刘宗林,吴学忠,李圣怡;叉指式微硅加速度计的参数化设计[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 曾昭君,石进杰;一种抗大过载微型加速度计研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
6 于治会;关于加速度计参数的选定[J];电气传动自动化;2003年03期
7 侯美丽,杨建辉,第五兴乐;确认姿态的双向微型加速度计[J];中国测试技术;2003年05期
8 蒋玉齐,程迎军,许薇,张鲲,李昕欣,罗乐;高量程MEMS加速度计封装工艺研究[J];传感器技术;2005年02期
9 赵岩;翟百臣;武克用;陈涛;;加速度计在非陀螺寻北系统中的应用研究[J];兵工学报;2006年02期
10 赵立业;周百令;;加速度计标定中低成本数据采集处理系统的设计[J];计量技术;2006年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 曹慧丹;沈昱明;赖际舟;;微硅加速度计标定及试验研究[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集(2)[C];2008年
2 索智群;乔东海;;力平衡模拟反馈电容加速度计的研究[A];2010’中国西部声学学术交流会论文集[C];2010年
3 刘惠兰;林恒;李莉;张春熹;;光学加速度计的技术及发展[A];惯性技术发展动能发展方向研讨会论文集[C];2004年
4 刘惠兰;林恒;李莉;张春熹;;光学加速度计的技术研究与发展[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
5 钱朋安;;一体化多维加速度计研究的若干问题分析[A];中国仪器仪表学会第九届青年学术会议论文集[C];2007年
6 宋长福;严小军;韩丰田;郭晓芳;马高印;;硅微静电悬浮加速度计关键技术研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
7 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
8 周泽兵;祝竺;;静电悬浮加速度计研究[A];中国地球物理2013——第二十六专题论文集[C];2013年
9 薛旭;李丹东;刘国文;万蔡辛;张承亮;;MEMS加速度计工程样机的研制[A];惯性技术发展动态发展方向研讨会文集——新世纪惯性技术在国民经济中的应用[C];2012年
10 张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文集[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前5条
1 包秋红;加速度计测试的加速者[N];中国航空报;2004年
2 唐新培;“黑黢侠”再显神威[N];中国航天报;2012年
3 黄忠魁 付秀娟 本报记者 徐建华;“敏感精灵”助力嫦娥探月[N];中国质量报;2014年
4 唐新培;搬走“三座山” 促成“太空吻”[N];中国航天报;2011年
5 北京弗欧弗奥信息咨询有限公司 谭薇;MEMS传感器大规模应用指日可待[N];中国电子报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 蒋玉齐;高量程MEMS加速度计封装研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
2 杨杰;无陀螺捷联惯导系统加速度计构型研究与误差分析[D];哈尔滨工程大学;2011年
3 张习文;微小型加速度计的精密装配及影响性能的因素研究[D];大连理工大学;2013年
4 刘志平;无陀螺捷联惯导系统若干关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
5 李博;基于共振隧穿结构介观压阻效应的纳机电加速度计研究[D];中北大学;2008年
6 刘力;惯性传感器扭摆测试中地面振动和放电金丝的影响研究[D];华中科技大学;2012年
7 王世明;基于离心机的惯性仪表测试方法研究与误差分析[D];哈尔滨工业大学;2014年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 胡红革;硅挠性伺服加速度计设计[D];电子科技大学;2002年
2 李园晴;悬丝支承加速度计温度误差建模及补偿研究[D];上海交通大学;2011年
3 王巍;高精度加速度计测量系统的分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2011年
4 游侠飞;MEMS加速度计温度场及残余应力模型研究[D];浙江大学;2012年
5 陆阳;高精度加速度计采集单元的设计及关键器件的研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
6 席晋;加速度计数据采集与温度补偿技术研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
7 解启瞻;捷联惯导系统中石英加速度计温漂补偿研究[D];重庆大学;2009年
8 庄瑞芬;硅微谐振式加速度计结构设计技术研究[D];南京理工大学;2009年
9 李发明;光学加速度计方案的初步研究[D];国防科学技术大学;2009年
10 韩小菊;声表面波加速度计的温度误差及补偿方法研究[D];西安科技大学;2009年
,本文编号:890913
本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/yiqiyibiao/890913.html