NiCr高温薄膜电阻应变计制备及耐高温性能研究

发布时间：2017-09-24 10:26

  本文关键词：NiCr高温薄膜电阻应变计制备及耐高温性能研究

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【摘要】：针对高温环境下应力应变测试的技术难题,提出了一种以NiCr薄膜为敏感材料的高温薄膜应变计的制备方法,并对薄膜应变计敏感层的耐高温性能进行研究。研究发现,NiCr薄膜在高温下微观结构、成分发生明显转变,电学性能急剧下降。对添加SiN_xO_y和ITO薄膜后的NiCr薄膜分别进行高温测试发现,NiCr薄膜结构、性能没有明显改变,表明SiN_xO_y和ITO薄膜保护下的NiCr薄膜高温下性能稳定。所制的高温薄膜应变计在50~350℃内电阻温度系数为(80~787)×10-6/K,常温下应变灵敏系数为1.19,机械滞后为5.02,高温下的应变测试性能有待进一步研究。
【作者单位】： 大连交通大学机械工程学院;大连交通大学材料科学与工程学院;
【关键词】： NiCr高温薄膜电阻应变计 耐高温性能 光刻工艺 电阻温度系数
【基金】：国家自然科学基金(51575074)项目资助
【分类号】：TH823.3
【正文快照】： 1引言电阻应变计是世界上最常用的应力分析敏感元件之一,它主要利用材料在受到外界应力时,电阻应变计的电阻值发生相应变化的特征[1],通过变换电路将电阻值变化转换为电压值变化的输出。目前应力测试主要有丝式应变计和箔式应变计,由于需要将电阻应变计粘贴到待测物体表面,这

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本文编号：910899