用于三维形貌定量测量的调制电流式扫描离子电导显微镜

发布时间：2017-09-28 19:32

  本文关键词：用于三维形貌定量测量的调制电流式扫描离子电导显微镜

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【摘要】：针对已有测量方法不能同时实现材料表面形貌的三维定量无损测量的不足,提出了一种基于调制电流式扫描离子电导显微镜(SICM)的表面形貌测量方法。为了提高已有SICM系统的成像质量,提出了一种调制电流扫描模式。该模式在扫描头的结构设计上采用两块压电陶瓷,并采用调制离子电流的振幅作为反馈信号。该设计不仅保证了探头对高度突变表面的成像能力,同时有助于改善系统的成像质量。对微凸透镜阵列表面的成像实验表明,相对于传统跳跃扫描模式,调制电流扫描模式可以有效降低43%的刺状噪声,从而提高成像质量。通过与扫描激光共聚焦显微镜的定量对比实验,验证了调制电流式SICM具有更准确的三维定量测量结果,且通过采用更细的探头和更小的扫描步距可以进一步提高测量结果的准确性。
【作者单位】： 西安交通大学机械工程学院;
【关键词】： 扫描离子电导显微镜 表面形貌测量 调制电流 三维定量测量
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51375363) 陕西省科技厅工业攻关项目(2013GY2-04)
【分类号】：TH742
【正文快照】： steps.材料表面形貌的三维定量无损测量具有十分广泛的工程应用背景,例如工件表面粗糙度测量、缺陷检测,以及研究表面微结构对材料力学性能的影响规律等。目前,常用的表面形貌三维测量方法主要有表面轮廓仪和各种显微设备[1-10],但均存在不足之处。表面轮廓仪[1]由于探头和样

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1 宋盛平;赖琼芬;裴虹;;超音频及其调制电流的实验研究[J];中国康复;1990年03期

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本文编号：937705