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紫外微型光谱仪的光学设计及其探测器紫外增敏技术研究

发布时间:2017-09-29 08:46

  本文关键词:紫外微型光谱仪的光学设计及其探测器紫外增敏技术研究


  更多相关文章: 微型光谱仪 紫外光谱 光学设计 CCD紫外增敏


【摘要】:近年来,随着紫外微型光谱仪在分析化学、农药残留检测、水质监测等领域的应用越来越广泛,对光谱仪的像差、分辨率和光谱范围等性能要求也不断提高。本论文基于交叉非对称的切尔尼-特纳光路结构设计了紫外微型光谱仪的光学系统,使用ZEMAX软件对光路进行了模拟、优化和像质评价。同时,为解决光谱仪中前照式CCD探测器对紫外光谱弱响应的问题,开展了对该类探测器的紫外响应增强技术研究。除去CCD的表面玻璃保护罩,基于旋涂法将荧光粉Lumogen S 0795镀膜在CCD像敏面上,利用荧光效应实现紫外光-可见光的波长转换,增强CCD对紫外光谱的响应能力。最后,基于以上光学设计,自行研制并装调了一台光谱仪样机。通过对比CCD镀膜前后在光谱仪器中对紫外光谱的不同响应,对紫外增敏技术进行了评价,同时对CCD紫外增敏后光谱仪系统的分辨率等相关参数的改变进行了研究。论文主要包括以下几个方面的内容:1、基于交叉非对称的切尔尼-特纳(C-T)光路结构,设计紫外微型光谱仪的光学系统,并对光谱仪系统的理论分辨率进行分析讨论。使用ZEMAX软件对光路结构进行模拟、优化和像质评价,当采用30μm狭缝和1800线/mm光栅时,模拟光学系统在180~270 nm光谱范围内整体分辨率优于0.5 nm,在180 nm附近最高分辨率达到0.1 nm,各类像差图说明条纹像斑在色散方向规则且集中,各种像差控制在容限内,空间频率为5lp/mm时,传递效率50%以上。2、采用德国BASF公司生产的Lumogen?Yellow S 0795荧光粉与有机溶剂硝化纤维素、无水乙醇按照0.08g:0.7g:0.3g的比例混合后,基于旋涂法先后在玻璃基片和TCD 1304线阵CCD的光敏面上进行镀膜实验研究,有效控制膜层厚度、均匀性和表面光滑性。3、研制了一台紫外微型光谱仪样机,采用卤钨灯、低压汞灯和氘灯对光谱仪的光路系统进行装调。检测对比CCD镀膜前后对同一波段范围(217~318nm)的紫外离散和连续光谱响应,分析得出:CCD镀膜后紫外响应相对增强系数大于8.7倍,短波截止波长从310 nm蓝移至200 nm以下,同时可见光谱强度几乎没有变化。最后,对比得出CCD镀膜前后365 nm谱线的像素分辨率仅相差3 pixel。以上实验分析说明,本论文采用的CCD紫外增敏实验方案在不影响光谱仪器分辨率的前提下,使前照式线阵CCD获得了良好的紫外响应增强效果,并且不影响可见光的透过性。
【关键词】:微型光谱仪 紫外光谱 光学设计 CCD紫外增敏
【学位授予单位】:中国计量学院
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2016
【分类号】:TH744.1;TN23
【目录】:
  • 致谢5-6
  • 摘要6-8
  • Abstract8-15
  • 1 绪论15-25
  • 1.1 引言15-17
  • 1.2 国内外研究进展及现状17-22
  • 1.2.1 紫外微型光谱仪的国内外研究进展及现状17-20
  • 1.2.2 CCD紫外增敏技术的国内外研究进展及现状20-22
  • 1.3 本论文的主要研究内容和研究意义22-25
  • 1.3.1 主要研究内容22-23
  • 1.3.2 研究意义23-25
  • 2 紫外微型光谱仪的光学系统设计25-46
  • 2.1 色散型光谱仪的基本原理25-36
  • 2.1.1 基本特性25-27
  • 2.1.2 光路结构27-32
  • 2.1.3 像差分析32-36
  • 2.2 紫外微型光谱仪的光学系统设计36-40
  • 2.2.1 光路设计36-38
  • 2.2.2 理论分辨率分析38-40
  • 2.3 ZEMAX软件模拟和优化光路系统40-44
  • 2.3.1 模拟和优化光路系统41
  • 2.3.2 像质评价41-44
  • 2.4 光谱仪样机实际性能检测44-45
  • 2.5 本章小结45-46
  • 3 紫外微型光谱仪的光电探测器46-60
  • 3.1 CCD图像传感器46-51
  • 3.1.1 CCD的基本工作原理47-49
  • 3.1.2 CCD的基本特性49-50
  • 3.1.3 东芝TC D 1304 线阵CC D50-51
  • 3.2 CCD蓝敏技术研究51-54
  • 3.2.1 背照减薄型CCD52-54
  • 3.2.2 前照式CC D的紫外响应增强研究54
  • 3.3 TCD 1304 线阵CCD的紫外增敏实验54-59
  • 3.3.1 实验原理54-55
  • 3.3.2 实验过程55-59
  • 3.4 本章小结59-60
  • 4 基于紫外增敏线阵CC D的微型光纤光谱仪60-67
  • 4.1 紫外微型光谱仪样机装调60-63
  • 4.2 紫外增敏CCD的荧光效果检测63-65
  • 4.2.1 紫外离散光谱强度相对增强系数63-64
  • 4.2.2 紫外截止波长64-65
  • 4.3 紫外增敏CCD对光谱仪分辨率的影响65-66
  • 4.4 本章小结66-67
  • 5 总结与展望67-69
  • 5.1 总结67
  • 5.2 展望67-69
  • 参考文献69-72
  • 作者简历72

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本文编号:941065


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