硅微静电加速度计的支承刚度特性

发布时间：2017-09-30 12:30

  本文关键词：硅微静电加速度计的支承刚度特性

  更多相关文章： 微机电系统 微机械加速度计 空间静电加速度计 静电支承 支承刚度

【摘要】：静电加速度计通过降低带宽和量程在空间微重力环境下可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、平行六面体状检验质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,推导并讨论了静电支承回路的典型刚度特性与控制参数之间的关系式。采用基于DSP的数字控制器,实现了敏感质量的六自由度稳定支承,在大气环境下测试了静电支承回路的主要性能。分析与测试结果表明,在支承系统频带内,支承刚度特性与控制器参数及气膜阻尼系数密切相关;同时,改变预载电压可以在较大范围内在线调整加速度计的量程和支承刚度等指标。
【作者单位】： 清华大学精密仪器系;北京航天控制仪器研究所;
【关键词】： 微机电系统 微机械加速度计 空间静电加速度计 静电支承 支承刚度
【基金】：国家自然科学基金资助项目(41074049,61374207) 高等学校博士点学科专项科研基金项目(20130002110031)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 在卫星提供的微重力环境下,超低量程的静电加速度计可充分发挥出其超高分辨的优势,广泛应用于测定引起卫星轨道摄动的非保守力、地球重力测量、卫星无拖曳控制、空间基础物理实验等领域[1]。传统静电加速度计采用精密机械加工手段制造,体积大,功耗高,造价昂贵,制约了其在微小

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 段光武;韩丰田;付真斌;;六轴硅微静电加速度计的悬浮回路设计[J];中国惯性技术学报;2010年02期

【共引文献】

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 蔡林;卫星重力测量解析误差分析法[D];华中科技大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前2条

1 万镇;六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真[D];上海交通大学;2012年

2 张军;基于并联机构的压电式六维加速度传感器测量系统研究[D];南京航空航天大学;2012年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 李树德;空间静电加速度计研究之进展[J];大地测量与地球动力学;2005年02期

2 刘云峰;丁衡高;董景新;;静电悬浮微机械加速度计设计[J];清华大学学报(自然科学版);2007年02期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 任杰;樊尚春;王路达;;谐振式微机械加速度计设计的关键技术[J];传感技术学报;2008年04期

2 郑旭东;曹学成;郑阳明;罗斯建;王跃林;金仲和;;一种电容式微机械加速度计的设计[J];传感技术学报;2008年02期

3 高志宏;唐一科;周传德;;用零相位的方法检测微加速度计的谐振频率[J];机械制造;2009年09期

4 胡m，

本文编号：948232