常压封装下隧道磁阻微陀螺的高灵敏结构设计

发布时间：2017-10-06 02:01

  本文关键词：常压封装下隧道磁阻微陀螺的高灵敏结构设计

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【摘要】：针对现有微陀螺难以实现常压封装下高灵敏检测的难题,设计了两种应用隧道磁阻效应检测的微陀螺结构,分别采用面内检测与离面检测,本文从阻尼与检测磁场两方面对二者性能进行分析。首先通过对二者阻尼的计算,得到常压下面内检测结构的灵敏度为35.18 nm/(°/s),离面检测结构的灵敏度为3.19 nm/(°/s),面内结构比离面结构的灵敏度高约10倍,从阻尼方面考虑,采用面内检测的结构更优;其次设计了应用于两种结构中的检测磁场,得到了面内检测磁场相比于离面检测磁场具有更高的磁场变化率,更好的磁场一致性,从磁场方面考虑,同样得到面内检测的微陀螺结构更优。因此,应用面内检测结构可以实现隧道磁阻微陀螺在常压下的高灵敏检测。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术国家重点实验室;中北大学仪器与电子学院;中北大学微系统集成研究中心;
【关键词】： MEMS陀螺 隧道磁阻效应 高Q值 结构灵敏度
【基金】：国家自然科学基金项目(61571405) 基金项目(62201070516) 山西省攻关项目(20130322005-04)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 微机械陀螺的核心技术是由柯氏效应引起的微应力或微位移的高精度检测。随着微机械系统(MEMS)技术的成熟,微机械陀螺由于其成本低、体积小、易批量化生产以及易集成等优点,在民用及国防领域得到了广泛的应用[1-2]。清华大学[3]于2015年研制了一种低机械噪声电容式微机械陀螺敏

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本文编号：980069