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电阻型半导体甲醛传感器研究进展

发布时间:2017-10-13 14:38

  本文关键词:电阻型半导体甲醛传感器研究进展


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【摘要】:甲醛是潜在致癌物和重要的环境污染物。电阻型半导体甲醛传感器因灵敏度高、工艺简单、操作方便、体积小而成为研究热点。从电阻型半导体甲醛传感器的气敏材料和器件结构两个方面展开分析,研究了国内外有代表性的最新研究成果,并展望了未来的发展方向。
【作者单位】: 辽宁大学物理学院;辽宁大学信息学院;辽宁大学计算中心;
【关键词】甲醛 传感器 灵敏度
【分类号】:TP212.2
【正文快照】: 0引言甲醛(HCHO)是一种无色易溶的气体,能致癌、致畸,是最重要的污染物之一[1]。传统的甲醛的检测方法如气相色谱、质谱、FTIR分析等,成本高,耗时,且不能实时进行检测。当前市场上的甲醛检测仪多是电化学甲醛传感器,价格不菲。电阻型半导体甲醛传感器[2~14]因制作简单、操作方

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4 ;[J];;年期



本文编号:1025400

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