波纹膜片式光纤法布里-珀罗压力传感器
本文关键词:波纹膜片式光纤法布里-珀罗压力传感器
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【摘要】:设计并研制了一种新型的波纹膜片式光纤法布里-珀罗压力传感器,运用仿真软件对波纹膜片进行膜片参数的优化,完成了波纹膜片式法布里-珀罗压力传感器的结构设计与制备,同时用搭建的微压传感器测试系统对压力传感器进行了测试。实验结果表明,本传感器在0~0.1 MPa的压力范围内,线性度好,重复性好,灵敏度高。
【作者单位】: 南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室;
【基金】:国家自然科学基金(61178044) 江苏省普通高校研究生实践创新培养工程(KYLX_0723,SJLX15_0297)
【分类号】:TP212
【正文快照】: 1引言光纤压力传感器具有抗辐射、抗电磁干扰、耐高温、耐腐蚀、灵敏度高等优点[1-3],适合用于工程建设、石油钻井、大型变电设备等高辐射、高电磁干扰、高温高压等极端环境。为了更安全、准确、便捷地获取传感器的压力信息,提高测量精度,需要开发新的材料或进行新的结构设计[
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,本文编号:1142888
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