基于ZnO单晶声表面波压力传感器的特性研究

发布时间：2017-11-21 09:05

  本文关键词：基于ZnO单晶声表面波压力传感器的特性研究

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【摘要】：基于声表面波(SAW)理论以及SAW谐振器的结构和工作原理,设计了一种基于声表面波(SAW)谐振式压力传感器。采用有限元软件COMSOL Multiphysics对ZnO单晶声表面波谐振器进行建模和仿真,提出符合声表面波振型的对称模态和反对称模态,计算出ZnO单晶的相速度为3 237.31 m/s。讨论了ZnO基底厚度对此压力传感器的相速度的影响,得出ZnO基底厚度越大,相速度越小。最后通过加载0~1 000 kg/m~2的质量块来模拟不同的压力对器件的频率响应的影响,结果显示压力的变化与谐振频率二者具有良好的负相关线性关系。通过拟合得出线性表达式。
【作者单位】： 南京邮电大学光电工程学院;南京邮电大学Peter
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61274121,61574080)
【分类号】：TP212
【正文快照】： 0引言声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)压力传感器所特有的高频特性及器件基片材料的压电、逆压电效应,使其与传统压力传感器相比,具有测量精度高、抗干扰性强、微型、无源无线及成本低等优点,适用于易燃、易爆、密闭等特定环境下的遥测与传感[1]。因此对于SAW压力传感器

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本文编号：1210373