多线切割机张力控制系统的分析与校正

发布时间：2017-12-15 01:04

  本文关键词：多线切割机张力控制系统的分析与校正

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【摘要】：针对原多线切割机设计中控制系统稳定性差的问题,建立了张力控制系统的模型,分析了钢丝拉伸变形对于控制系统稳定性的影响,提出了新的用于产生钢丝张力的伺服电机的转矩控制方案,并通过理论分析和实际使用证明,改进后的控制方法有效提高了张力控制系统的稳定性,满足了设备的使用要求。
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第四十五研究所;
【基金】：国家02科技重大专项“硅材料设备应用工程”(2009ZX02011-002A)支持项目
【分类号】：TP273
【正文快照】： 多线切割机是一种用于半导体材料及脆硬材料切割的设备,和传统的切片机相比,多线切割机具有生产效率高、材料损耗少的优点,同时,所加工的硅片具有弯曲度小、翘曲度小、表面损伤层浅及表面粗糙度值小等优点,是目前半导体材料加工的关键设备。但同时,多线切割机也是一种复杂的设

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本文编号：1290021