新型体声波传感器读出电路的实验验证

发布时间：2017-12-18 02:25

  本文关键词：新型体声波传感器读出电路的实验验证

  更多相关文章： BAW传感器 薄膜体声波谐振器 读出电路 六端口网络 六端口反射计 矢量网络分析仪

【摘要】：为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性,本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试。以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)为待测器件(DUT),设计、制作了一种能够满足该FBAR谐振频率测量带宽(1.3 GHz~1.7 GHz)要求的PCB上微带六端口网络和检波器,配合射频信号发生器和示波器,获得了模拟DUT(50ΩSMA匹配负载)的反射系数-频率(Γ-f)曲线测量结果。与矢量网络分析仪(VNA)的测量结果进行了对比,两者吻合较好,实验验证了"基于六端口反射计的BAW传感器读出电路"可用于FBAR谐振频率的测量。本文工作对实用化BAW传感器的研制和片上矢量网络分析仪(VNA-on-Chip)的设计都有借鉴意义。
【作者单位】： 中国工程物理研究院电子工程研究所;核探测与核电子学国家重点实验室(中国科学院高能物理研究所);西南科技大学信息工程学院;重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(61574131) 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001) 核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF02) 西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01)
【分类号】：TP212
【正文快照】： 薄膜体声波谐振器FBAR(Thin-Film Bulk Acous-作为读出电路核心的六端口网络,其工作频带的中tic Wave Resonator)具有灵敏度高、工作频率高和功心频率与FBAR的空载谐振频率(本例中即~1.5率损耗低等特点,是实现高精度和高灵敏度传感器GHz)一致,实物如图中的PCB微带电路照片所示

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 刘莉萍;;红外焦平面读出电路技术及发展趋势[J];激光与红外;2007年07期

2 沈晓;丁瑞军;;读出电路数字模块设计[J];激光与红外;2007年S1期

3 韩建强;黄北举;关宁;陈弘达;;一种高灵敏度大动态范围读出电路[J];中国集成电路;2011年01期

4 谢珩;梁宗久;杨雅茹;;读出电路铟柱打底层对铟柱成球高度的影响[J];激光与红外;2011年01期

5 冯恭祜;;磁盘改进调频制读出电路[J];计算机研究与发展;1984年03期

6 王霄;史泽林;;红外读出电路噪声优化分析[J];半导体光电;2013年06期

7 詹国钟;郭方敏;黄静;朱荣锦;;光电传感器读出电路的参数可调控制研究[J];红外技术;2008年08期

8 孔谋夫;潘银松;张仁富;王丽;;一种电流积分型生物传感微阵列信号读出电路[J];传感器与微系统;2008年05期

9 陈哠;李煜;白丕绩;;基于像素累积积分的红外读出电路研究[J];红外技术;2012年01期

10 梁艳;李煜;王博;白丕绩;李敏;陈哠;;短波320×256抗辐射加固读出电路设计[J];红外技术;2012年12期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 孟丽娅;薛联;吕果林;黄友恕;袁祥辉;;320×240元非制冷红外焦平面阵列读出电路[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年

2 于艳;;三维读出电路技术[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年

3 齐敏;乔东海;;微麦克风读出电路的设计和仿真[A];2008年全国声学学术会议论文集[C];2008年

4 王将;景为平;李言谨;方家熊;;新型热释电探测器读出电路的研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年

5 刘晓红;王咏梅;王永松;;高速远紫外光子计数成像读出电路设计[A];中国空间科学学会空间探测专业委员会第二十六届全国空间探测学术研讨会会议论文集[C];2013年

6 袁永刚;刘大福;邱惠国;李向阳;;128×128元氮化镓紫外焦平面读出电路的设计与封装研究[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年

7 杨栋;赵毅强;廖俊;;线列红外探测器读出电路的研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年

8 杨彪;颜夕宏;;红外焦平面阵列读出电路设计[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年

9 张松;徐运华;谢文青;方家熊;;一种基于开关门阵列结构的9级TDI读出电路[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年

10 王将;景为平;;弛豫铁电单晶PMNT热释电读出电路的设计[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 高磊;集成模数转换器的红外焦平面读出电路研究[D];中国科学院研究生院(上海技术物理研究所);2015年

2 杨苹;ALICEITS中MAPS探测器的数据驱动型读出电路芯片设计与实现[D];华中师范大学;2015年

3 周云;无TEC非制冷红外焦平面读出电路的研究[D];电子科技大学;2013年

4 周杰;320×256中/长波双色红外信号读出电路设计[D];中国科学院研究生院(上海技术物理研究所);2015年

5 陈西曲;非致冷红外焦平面的读出电路及测试系统研究[D];华中科技大学;2007年

6 郝立超;甚长波红外探测器信号读出电路结构研究[D];中国科学院研究生院（上海技术物理研究所）;2014年

7 陈国强;HgCdTe e-APD主被动读出电路设计[D];中国科学院研究生院（上海技术物理研究所）;2014年

8 胡滨;非制冷红外焦平面CMOS读出电路设计与实现研究[D];电子科技大学;2011年

9 刘成康;红外焦平面阵列CMOS读出电路研究[D];重庆大学;2001年

10 张智;红外焦平面阵列新结构高性能CMOS读出电路研究[D];重庆大学;2003年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 刘慧芳;1280×1024非制冷红外焦平面读出电路的研究[D];电子科技大学;2015年

2 吴晔晖;非制冷红外焦平面640×512阵列读出电路关键技术的研究[D];电子科技大学;2014年

3 刘孟良;全差分电容式传感的CMOS读出电路设计与实现[D];湘潭大学;2015年

4 宋晓亮;带背景抑制的红外焦平面阵列读出电路的研究[D];重庆大学;2015年

5 宋伟清;逐元暗电流抑制的CMOS红外探测器读出电路研究[D];中国科学院研究生院(上海技术物理研究所);2015年

6 汪雪琴;基于红外传感器的CO2浓度检测读出电路设计[D];北京交通大学;2016年

7 苏军;BDI型红外焦平面读出电路的设计与实现[D];东南大学;2015年

8 傅胡叶;GM-APD 64×64阵列型全集成传感读出电路设计[D];东南大学;2015年

9 裴宇峰;阵列Nb_5N_6太赫兹检测器读出电路设计[D];南京大学;2016年

10 柴东阳;基于Delta-Sigma调制的磁传感器读出电路设计[D];电子科技大学;2016年

，

本文编号：1302474