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新型体声波传感器读出电路的实验验证

发布时间:2017-12-18 02:25

  本文关键词:新型体声波传感器读出电路的实验验证


  更多相关文章: BAW传感器 薄膜体声波谐振器 读出电路 六端口网络 六端口反射计 矢量网络分析仪


【摘要】:为了实验验证此前通过仿真验证的基于六端口反射计的新型BAW传感器读出电路的方案的可行性,本文制作了新型BAW传感器读出电路并对其进行了测试。以串联谐振频率约为1.5 GHz的薄膜体声波谐振器(FBAR)为待测器件(DUT),设计、制作了一种能够满足该FBAR谐振频率测量带宽(1.3 GHz~1.7 GHz)要求的PCB上微带六端口网络和检波器,配合射频信号发生器和示波器,获得了模拟DUT(50ΩSMA匹配负载)的反射系数-频率(Γ-f)曲线测量结果。与矢量网络分析仪(VNA)的测量结果进行了对比,两者吻合较好,实验验证了"基于六端口反射计的BAW传感器读出电路"可用于FBAR谐振频率的测量。本文工作对实用化BAW传感器的研制和片上矢量网络分析仪(VNA-on-Chip)的设计都有借鉴意义。
【作者单位】: 中国工程物理研究院电子工程研究所;核探测与核电子学国家重点实验室(中国科学院高能物理研究所);西南科技大学信息工程学院;重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室;
【基金】:国家自然科学基金项目(61574131) 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2014ZA001) 核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF02) 西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14zxtk01)
【分类号】:TP212
【正文快照】: 薄膜体声波谐振器FBAR(Thin-Film Bulk Acous-作为读出电路核心的六端口网络,其工作频带的中tic Wave Resonator)具有灵敏度高、工作频率高和功心频率与FBAR的空载谐振频率(本例中即~1.5率损耗低等特点,是实现高精度和高灵敏度传感器GHz)一致,实物如图中的PCB微带电路照片所示

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本文编号:1302474

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