MEMS传感器发展现状与应用

发布时间：2017-12-24 15:21

  本文关键词：MEMS传感器发展现状与应用　出处：《中国高新技术企业》2016年35期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器,具有很多新的特性,相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代,其具有良好的发展前景,必将受到各个国家越来越多的重视。文章首先介绍了MEMS传感器的分类和典型应用,然后着重对几个传感器进行了介绍,最后对MEMS传感器的发展趋势与发展前景进行了分析。
【作者单位】： 西北工业大学航天学院;
【分类号】：TP212
【正文快照】： 1　背景汽车应用的宿命。广义上讲,MEMS是指可批量制作的,集微机构、微2　目前已有的MEMS传感器传感器、微执行器以及信号处理及控制电路,乃至通信2.1　MEMS加速度计和电源于一体的微型器件或机电系统。MEMS加速度计,顾名思义,即是用来测量物体加速1.1　MEMS技术的发展度的仪

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本文编号：1328899