基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计

发布时间：2018-03-28 00:02

  本文选题：薄膜　切入点：多层膜设计　出处：《光学学报》2017年06期

【摘要】：提出了一种基于实数编码量子进化算法(RQEA)的宽角度极紫外(EUV)多层膜理论膜系的设计方法。采用基于实数编码的遗传算法(RGA)和RQEA对宽角度Mo/Si多层膜进行了理论设计和分析,发现RQEA具有种群规模小、搜索效率高和求解精度高的明显优势,体现出RQEA在光学薄膜设计领域的潜在应用价值。同时,设计出入射光波长为13.5nm、在入射角0°~18°范围内反射率可达50%的宽反射带Mo/Si多层膜。
[Abstract]:In this paper, a design method of multilayer membrane system based on real coded quantum evolutionary algorithm (RQEAA) is proposed. The theory of wide angle Mo/Si multilayer film is designed and analyzed by using real coded genetic algorithm (RGA) and RQEA. It is found that RQEA has the advantages of small population size, high searching efficiency and high precision, which shows the potential application value of RQEA in the field of optical thin film design. A wide-band Mo/Si multilayer with an incident wavelength of 13.5 nm and a reflectivity of up to 50% in the angle of incidence of 0 掳~ 18 掳is designed.
【作者单位】： 长春理工大学理学院;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金青年基金(61405189) 吉林省科技发展计划(20150101019JC)
【分类号】：TB383.2;TP18

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本文编号：1673831