光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感技术研究进展

发布时间：2018-04-13 12:07

  本文选题：光纤传感器 + 法布里-珀罗干涉仪　； 参考：《物理学报》2017年07期

【摘要】：光纤法布里-珀罗干涉温度和压力传感器具有灵敏度高、制作简单、成本低、体积小和抗电磁干扰能力强等优点,已被广泛应用于军事和民用领域.在某些环境恶劣,如具有强电磁干扰和腐蚀性,或提供给传感器的安装空间非常有限的特殊工业领域,微型光纤温度和压力传感器发挥着重要的作用,国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究.本文综述了光纤法布里-珀罗干涉仪的基本原理、制备技术、及其压力和温度传感应用的研究进展.详细介绍了湿法化学腐蚀制备法、电弧放电制备法、飞秒激光制备法、聚合物辅助制备法等常见光纤法布里-珀罗腔传感器的制作工艺,分析了不同制作工艺的优缺点;详细介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪在温度传感、压力传感和温压一体传感领域的应用;最后对光纤法布里-珀罗干涉温度压力传感器的发展进行了总结和展望.
[Abstract]:Optical fiber Fabry-Perot interference temperature and pressure sensors have been widely used in military and civil fields because of their high sensitivity, simple fabrication, low cost, small size and strong ability to resist electromagnetic interference.In some special industrial fields where the environment is harsh, such as strong electromagnetic interference and corrosion, or very limited installation space for sensors, micro-fiber temperature and pressure sensors play an important role in many colleges and universities at home and abroad.Research institutes are studying it.The basic principle, fabrication technology, pressure and temperature sensing applications of fiber Fabry-Perot interferometer are reviewed in this paper.The fabrication techniques of common optical fiber Fabry-Perot cavity sensors, such as wet chemical etching, arc discharge, femtosecond laser and polymer assisted fabrication, are introduced in detail. The advantages and disadvantages of different fabrication techniques are analyzed.The application of optical fiber Fabry-Perot interferometer in temperature sensing, pressure sensing and temperature-pressure sensing is introduced in detail. Finally, the development of fiber Fabry-Perot interferometric temperature and pressure sensor is summarized and prospected.
【作者单位】： 深圳大学光电工程学院光电子器件与系统教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(批准号:61635007,61425007,61377090,61575128) 广东省自然科学基金(批准号:2014A030308007,2014B050504010,2015B010105007,2015A030313541) 深圳市科技创新委员会项目(批准号:GJHZ2015031309375575,JCYJ20160520163134575,JCYJ20160427104925452) 珠江学者项目资助的课题~~
【分类号】：TP212

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本文编号：1744419