一种纳米纤维压电式压力传感器的分析与制作

发布时间：2018-05-13 13:08

  本文选题：压电式压力传感器 + 纳米纤维　； 参考：《传感器与微系统》2016年01期

【摘要】：为研究多铁纳米纤维在压力传感器上的应用,基于多铁纳米纤维敏感材料,利用MEMS技术、静电纺丝技术,设计制作了一种压电式压力传感器。通过对单根纳米纤维压电特性的有限元分析,得出纳米纤维直径越小,长度越大,即电极间距越大,纤维端电势越高,灵敏度越好。设计了传感器的结构尺寸和工艺过程,制作出了传感器样片。分析了在深硅刻蚀中掩蔽层保护出现的问题,提出了可行的工艺方法。
[Abstract]:In order to study the application of multi-iron nanofibers in pressure sensors, a piezoelectric pressure sensor was designed and fabricated based on the sensitive materials of multi-iron nanofibers, using MEMS technology and electrostatic spinning technology. Through the finite element analysis of the piezoelectric properties of a single nanofiber, it is concluded that the smaller the diameter and the greater the length of the nanofiber, the greater the electrode spacing, the higher the potential at the fiber end and the better the sensitivity. The structure and process of the sensor are designed, and the sensor sample is made. The problems of masking layer protection in deep silicon etching are analyzed, and the feasible process methods are put forward.
【作者单位】： 北方工业大学机械与材料工程学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51375017)
【分类号】：TP212

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1883277