电容式薄膜真空压力传感器设计

发布时间：2018-06-05 02:41

  本文选题：电容式薄膜真空压力传感器 + 零点漂移　； 参考：《传感器与微系统》2017年03期

【摘要】：为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围内进行了校准测试,实现了传感器0.2%FS的测量精度。
[Abstract]:In order to meet the requirements of application in engineering model, the problem of isolating the sensitive probe shell and the sensor shell of the vacuum pressure sensor is solved, and the nonlinear compensation of the output signal of the sensor is also discussed. The temperature compensation problem of the whole circuit for the thermal zero drift of the sensor is discussed. The capacitive film packaging structure and the shell is the other pole of the capacitance. The calibration test is carried out in the range of 0.1 ~ 100Pa, and the measuring accuracy of the sensor is achieved.
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第四十九研究所;
【分类号】：TP212

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本文编号：1980086