基于洛伦兹力的MEMS磁传感器的研究进展

发布时间：2018-06-05 22:13

  本文选题：MEMS磁传感器 + 器件设计与制作　； 参考：《仪表技术与传感器》2017年11期

【摘要】：文中对制作MEMS磁传感器过程中涉及的主要设计参数、器件的制备工艺进行了介绍,综述了基于洛伦兹力的各种结构MEMS磁传感器的灵敏度、品质因子、噪声和探测极限等特性,并对其未来发展进行了展望。
[Abstract]:The main design parameters and fabrication process of MEMS magnetic sensor are introduced in this paper. The characteristics of sensitivity, quality factor, noise and detection limit of various MEMS magnetic sensors based on Lorentz force are summarized. The future development is also prospected.
【作者单位】： 长春理工大学光电信息学院;集成光电子学国家重点实验室吉林大学电子科学与工程学院;中国电子科技集团公司第四十九研究所;
【分类号】：TP212

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本文编号：1983587