一种新型单片集成光谱传感器的波长定标方法(英文)
[Abstract]:A novel short-wave infrared monolithic integrated spectrum sensor (MCSS) is the core sensing component of the spectral sensor Internet of things. In this paper, a wavelength calibration method for MCSS is proposed. According to the relative spectral responsivity and wavelength assignment principle, adjacent pixels are formed into a calibration channel. MCSS and two commercial spectrometers were used to measure the spectra of reference materials. The experimental results show that the average calibration deviation is 1. 8 nm, which is close to that of a commercial spectrometer with similar FWHM and sampling intervals, which can meet the needs of practical application.
【作者单位】: 山东大学光学高等研究中心;山东大学晶体材料国家重点实验室;山东大学信息科学与工程学院;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室;中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室;
【基金】:Supported by the National Nature Science Foundation of China(61376052) the Project of State Key Laboratories of Transducer Technology(SKT1507)
【分类号】:TP212
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,本文编号:2179289
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