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电容式柔性触觉传感器的研究与进展

发布时间:2019-08-08 06:26
【摘要】:通过分析电容式触觉传感器的基本工作原理与研究热点,指出了电容式触觉传感器在结构设计中存在着难以兼顾分辨率、测量精度和灵活性的关键问题。参照电容式触觉传感器内的微电容结构,从微电容的电极层、介质层和整体结构等三个方面出发,介绍了国内外电容式柔性触觉传感器近年来在新材料应用、新工艺引入、结构设计和三维力检测等方面的研究进展,提出可调节测量范围与灵敏度的触觉传感器将是进一步研究的热点。最后结合电容式柔性触觉传感器的实际应用,指出了未来的电容式触觉传感器正朝着微型化、集成化、透明化与多功能化等方向发展。
[Abstract]:Based on the analysis of the basic working principle and research hotspots of capacitive tactile sensor, it is pointed out that there are some key problems in the structural design of capacitive tactile sensor, which are difficult to take into account the resolution, measurement accuracy and flexibility. Referring to the micro-capacitance structure in capacitive tactile sensor, this paper introduces the application of capacitive flexible tactile sensor in new materials, new process introduction, structural design and three-dimensional force detection in recent years from three aspects: electrode layer, dielectric layer and overall structure of capacitance tactile sensor. It is pointed out that tactile sensor with adjustable measurement range and sensitivity will be the focus of further research. Finally, combined with the practical application of capacitive flexible tactile sensor, it is pointed out that the future capacitive tactile sensor is developing in the direction of miniaturization, integration, transparency and multifunction.
【作者单位】: 河北工业大学省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室;
【基金】:河北省自然科学基金重点资助项目(E2017202035) 河北省科技计划资助项目(16211709)
【分类号】:TP212

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本文编号:2524194

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