基于适配体的微梁阵列生化传感技术研究
【学位单位】:中国科学技术大学
【学位级别】:博士
【学位年份】:2018
【中图分类】:TP212
【部分图文】:
现实时的反应和检测。??微悬臂梁是最简单的MEMS元件之一,它尺寸很小,非常敏感,并且可以??批量生产。图1.2是几种典型的微悬臂梁的照片。微悬臂梁最初是作为原子力显??微镜(AFM)的探针使用的,原子力显微镜使用微悬臂梁前部的尖端接触被测??物体,从而测量被测物体表面的微观形貌、微系统的结构或者检测分子间的作用??力。然而在原子力显微镜的研宄中发现,微悬臂梁对于环境因素的影响很敏感,??并且在微悬臂梁表面吸附化学分子也会导致其明显的响应,因此具有作为生化传??感器潜质。经过发展,微悬臂梁生化传感器已经成为一种无需标记、高灵敏度的??实时监测手段,在传感领域有很好的应用前景。当微悬臂梁表面有微小的物理、??化学或者生物的反应时,这种反应产生的信号会引起微悬臂梁发生机械的偏转信??号
1.2.1微悬臂梁传感器的工作模式??微悬臂梁表面发生的物质吸附和生化分子的结合都会导致微悬臂梁发生弯??曲变形或者引起其共振频率的漂移,如图1.3所示(Lang?etal.?2005)。检测微悬??臂梁弯曲变形的方法通常被称作静态模式,而检测微悬臂梁共振频率漂移的方法??通常被称为动态模式。Fritz?(2008)指出还有另外一种模式,被称作双材料模式??或者热模式(图1.3c)。此模式针对的是由双层复合材料构成的微悬臂梁,一般??是在微悬臂梁的基底表面覆盖了一层金属材料。这种微悬臂梁在遇到加热等温度??变化时,由于两种材料的热膨胀率不同,因此微悬臂梁会因此发生弯曲变形。通??过这种方法,可以使用特制的微悬臂梁检测极小的温度变化。当微悬臂梁作为生??4??
在PSD上的反射光也随之偏转,偏移量由PSD检测到并转换为电信号,经过放??大由数据采集卡采集进入计算机处理,从而达到实时监测的目的。??微悬臂梁光杠杆读出方法的示意图见图1.4。使用此方法检测的微悬臂梁自??由端位移AZ与激光的反射光在PSD靶面的偏移量AS之间的关系如下:??AZ?=?^??4L??公式中1为微悬臂梁的长度,L是激光在微悬臂梁尖端光的光臂长度。通过??公式可以看出,光斑的偏移量与微悬臂梁的位移成正比。通过光杠杆的方法,原??本很难直接测量的微悬臂梁纳米量级的位移被放大,转化为微米量级的光斑的偏??移量,从而达到了很高的测量精度。光杠杆方法原理简单,检测灵敏度高,可以??在各种环境下使用。??光电位置敏??Laser徼光?(psd)??\?^??.微悬臂梁?\?/?/??Microcantilever?\?:?/??I???图1.4光杠杆读出方法的示意图??1.2.2.2压电法??压电法是将压电材料与微悬臂梁结合产生的检测方法。最初的压电方法??(Park?etal.?1998)是将薄层的压电材料涂在微悬臂梁的表面,当微悬臂梁发生??弯曲偏转时,表面会产生瞬时的电荷。近年来,使用压电材料作为激励来源的微??悬臂梁传感器得到了发展。Hwang?(2004;?2005)将压电换能器(Piezo-electric??Transducer,PZT)直接制作在微悬臂梁中,通过电路控制其激励微悬臂梁发生??振动
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本文编号:2889551
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