高温声表面波器件电极的制备与研究
发布时间：2020-12-07 12:30
声表面波（SAW）传感器因其无线无源等特点而被广泛地应用在某些恶劣的密闭环境中。但是,在航空航天等特种领域中,相关SAW传感器往往需要工作在特别高的温度下,这也就对SAW传感器在高温下的稳定性提出了要求。目前为止,成熟的SAW传感器一般能够承受500℃600℃的高温环境,还远远未能达到要求。本文采用脉冲激光沉积（PLD）与激光分子束外延（LMBE）技术在硅酸镓镧（LGS）压电衬底上沉积了基于Pt的多种复合电极薄膜。通过测试不同电极薄膜的导电性随高温处理的变化关系以及高温处理前后电极的微观结构变化,分析了其高温下电阻变化的机制,并最终得出了抑制Pt电极在高温下失效的方法,研究结果为SAW器件乃至所有微型电子元器件在极端高温条件下的应用提供了一定的实验基础与理论依据。本论文的主要工作包含以下内容:1.采用PLD技术,在不同温度条件下制备了Pt电极,系统地研究了Pt的沉积温度对Pt在高温下的导电稳定性的影响。结果表明,Pt电极的失效是由于Pt的结块所导致的,并且更高的沉积温度会使得制备的Pt电极在高温下具有更强的导电稳定性。600℃条件下制备的Pt电极在从室温升至100...
【文章来源】：电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：129 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
声表面波器件结构示意图
图 1-1 声表面波器件结构示意图面波器件的重要组成部分，它起着将电也作为声表面波传播的媒介。其主要的性系数、传播损耗、温度系数等，而常用的压电单晶材料。其中，压电单晶材料具有到国内外声表面波器件研究者们的广泛hite 和 Voltmer 发明了一种能够高效激励terdigitalTransducer，IDT）后，声表面波年的发展，叉指换能器已经成为了声表面图 1-2 所示。
图 1-3 不同温度下的 SAW 延迟线性能对比[3]经介绍了声表面波器件的主要结构包括压电材料高温环境下的 SAW 器件性能衰减乃至失效也需要个方面来讨论。而言，最核心的性质就是它的压电性能，压电性能工作。一般的压电材料都存在一个特有的相转变温这个相转变温度时，其压电性能被破坏，导致所制SiO2）作为一种天然的压电材料晶体，具有十分稳（1750 ℃），早在二十世纪 20 年代就开始被用作但是它的居里温度（Tc）较低，仅为 573 ℃，意体将失去它的压电性能，从而使得声表面波器材料最大的优势是它具有很高的温度稳定性，自aO3单晶生长技术后，LiTaO3压电单晶材料也开始泛地研究。但是与石英晶体压电材料一样，LiTa
【参考文献】：
期刊论文
[1]碳系填充环氧树脂复合材料导电性能研究进展[J]. 张鹏飞,寇开昌. 工程塑料应用. 2017(09)
[2]基于逾渗理论的非晶合金屈服行为研究[J]. 平志海,钟鸣,龙志林. 物理学报. 2017(18)
[3]基于逾渗模型的泥页岩导电机理模拟[J]. 赵军,代新雲,卢一凡,唐深华. 地球物理学报. 2017 (05)
[4]三叉晶界对晶粒长大影响的相场法模拟[J]. 罗志荣,卢成健,高英俊,易施光. 热加工工艺. 2017(08)
[5]碳系导电填料混杂填充聚合物共混体系的导电逾渗模型[J]. 熊卓越,张博媛,汪唯佳,郭朝霞,于建. 高等学校化学学报. 2015(08)
[6]含随机裂纹网络孔隙材料渗透率的逾渗模型研究[J]. 李乐,李克非. 物理学报. 2015(13)
[7]基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究[J]. 曾义红,舒琳,邓森洋,张万里,彭斌. 压电与声光. 2015(01)
[8]氧化铝材料力学性能的分子动力学模拟[J]. 李荣,魏庆华,王新忠,龙水军. 工具技术. 2014(06)
[9]烧结气氛和温度对In2O3和SnO2及其混合粉烧结行为的影响[J]. 李晏平,刘志宏,李玉虎,刘智勇,李启厚. 中国有色金属学报. 2014(01)
[10]石英微天平对β-环糊精衍生物分子的识别[J]. 关鲁雄,刘立华. 传感器技术. 2001(06)
博士论文
[1]介电氧化物薄膜在GaN半导体上的外延生长与性能研究[D]. 罗文博.电子科技大学 2010
本文编号：2903254
【文章来源】：电子科技大学四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校
【文章页数】：129 页
【学位级别】：博士
【部分图文】：
声表面波器件结构示意图
图 1-1 声表面波器件结构示意图面波器件的重要组成部分，它起着将电也作为声表面波传播的媒介。其主要的性系数、传播损耗、温度系数等，而常用的压电单晶材料。其中，压电单晶材料具有到国内外声表面波器件研究者们的广泛hite 和 Voltmer 发明了一种能够高效激励terdigitalTransducer，IDT）后，声表面波年的发展，叉指换能器已经成为了声表面图 1-2 所示。
图 1-3 不同温度下的 SAW 延迟线性能对比[3]经介绍了声表面波器件的主要结构包括压电材料高温环境下的 SAW 器件性能衰减乃至失效也需要个方面来讨论。而言，最核心的性质就是它的压电性能，压电性能工作。一般的压电材料都存在一个特有的相转变温这个相转变温度时，其压电性能被破坏，导致所制SiO2）作为一种天然的压电材料晶体，具有十分稳（1750 ℃），早在二十世纪 20 年代就开始被用作但是它的居里温度（Tc）较低，仅为 573 ℃，意体将失去它的压电性能，从而使得声表面波器材料最大的优势是它具有很高的温度稳定性，自aO3单晶生长技术后，LiTaO3压电单晶材料也开始泛地研究。但是与石英晶体压电材料一样，LiTa
【参考文献】：
期刊论文
[1]碳系填充环氧树脂复合材料导电性能研究进展[J]. 张鹏飞,寇开昌. 工程塑料应用. 2017(09)
[2]基于逾渗理论的非晶合金屈服行为研究[J]. 平志海,钟鸣,龙志林. 物理学报. 2017(18)
[3]基于逾渗模型的泥页岩导电机理模拟[J]. 赵军,代新雲,卢一凡,唐深华. 地球物理学报. 2017 (05)
[4]三叉晶界对晶粒长大影响的相场法模拟[J]. 罗志荣,卢成健,高英俊,易施光. 热加工工艺. 2017(08)
[5]碳系导电填料混杂填充聚合物共混体系的导电逾渗模型[J]. 熊卓越,张博媛,汪唯佳,郭朝霞,于建. 高等学校化学学报. 2015(08)
[6]含随机裂纹网络孔隙材料渗透率的逾渗模型研究[J]. 李乐,李克非. 物理学报. 2015(13)
[7]基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究[J]. 曾义红,舒琳,邓森洋,张万里,彭斌. 压电与声光. 2015(01)
[8]氧化铝材料力学性能的分子动力学模拟[J]. 李荣,魏庆华,王新忠,龙水军. 工具技术. 2014(06)
[9]烧结气氛和温度对In2O3和SnO2及其混合粉烧结行为的影响[J]. 李晏平,刘志宏,李玉虎,刘智勇,李启厚. 中国有色金属学报. 2014(01)
[10]石英微天平对β-环糊精衍生物分子的识别[J]. 关鲁雄,刘立华. 传感器技术. 2001(06)
博士论文
[1]介电氧化物薄膜在GaN半导体上的外延生长与性能研究[D]. 罗文博.电子科技大学 2010
本文编号：2903254
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/zidonghuakongzhilunwen/2903254.html
